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【应用案例】三英精控自主研发新型纳米位移台已应用于晶圆对准系统
- 分类：应用案例
- 作者：
- 来源：
- 发布时间：2022-12-28 09:25
- 访问量：
【概要描述】 圆晶对准系统 晶圆对准系统是IC制造工艺中不可或缺的装备。它是一个包含机械、电子、光学、计算机等多学科、高科技产品，其目的是在硅晶圆被传送到曝光台之前，对硅晶圆进行定位处理。对准的定位精度决定硅晶圆是否准确的落入曝光台的视野之内，从而影响整个系统的效率和成品率。 因此三英精控开发了新的纳米位移台产品，能很好的用于晶圆的位置调整，达到晶圆对准的目的。 三英精控新型纳米位移台 该纳米位移台不仅能实现X、Y方向上的移动，同时可以实现旋转运动。该运动平台的精度对晶圆最终的光刻有重要的影响。因此对运动形式和运动精度提出了很高的要求。三英已将该设备成功应用于晶圆对准的装备中了。 三英精控其他纳米位移台 三英精控还可以根据不同需求来进行定制，如有需求，欢迎来电咨询。咨询热线：18526695114
【应用案例】三英精控自主研发新型纳米位移台已应用于晶圆对准系统
【概要描述】
圆晶对准系统
晶圆对准系统是IC制造工艺中不可或缺的装备。它是一个包含机械、电子、光学、计算机等多学科、高科技产品，其目的是在硅晶圆被传送到曝光台之前，对硅晶圆进行定位处理。对准的定位精度决定硅晶圆是否准确的落入曝光台的视野之内，从而影响整个系统的效率和成品率。
因此三英精控开发了新的纳米位移台产品，能很好的用于晶圆的位置调整，达到晶圆对准的目的。
三英精控新型纳米位移台
该纳米位移台不仅能实现X、Y方向上的移动，同时可以实现旋转运动。该运动平台的精度对晶圆最终的光刻有重要的影响。因此对运动形式和运动精度提出了很高的要求。三英已将该设备成功应用于晶圆对准的装备中了。
三英精控其他纳米位移台
三英精控还可以根据不同需求来进行定制，如有需求，欢迎来电咨询。咨询热线：18526695114
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圆晶对准系统
晶圆对准系统是IC制造工艺中不可或缺的装备。它是一个包含机械、电子、光学、计算机等多学科、高科技产品，其目的是在硅晶圆被传送到曝光台之前，对硅晶圆进行定位处理。对准的定位精度决定硅晶圆是否准确的落入曝光台的视野之内，从而影响整个系统的效率和成品率。
因此三英精控开发了新的纳米位移台产品，能很好的用于晶圆的位置调整，达到晶圆对准的目的。
三英精控新型纳米位移台
该纳米位移台不仅能实现X、Y方向上的移动，同时可以实现旋转运动。该运动平台的精度对晶圆最终的光刻有重要的影响。因此对运动形式和运动精度提出了很高的要求。三英已将该设备成功应用于晶圆对准的装备中了。
三英精控其他纳米位移台
三英精控还可以根据不同需求来进行定制，如有需求，欢迎来电咨询。咨询热线：18526695114
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【概要描述】 圆晶对准系统 晶圆对准系统是IC制造工艺中不可或缺的装备。它是一个包含机械、电子、光学、计算机等多学科、高科技产品，其目的是在硅晶圆被传送到曝光台之前，对硅晶圆进行定位处理。对准的定位精度决定硅晶圆是否准确的落入曝光台的视野之内，从而影响整个系统的效率和成品率。 因此三英精控开发了新的纳米位移台产品，能很好的用于晶圆的位置调整，达到晶圆对准的目的。 三英精控新型纳米位移台 该纳米位移台不仅能实现X、Y方向上的移动，同时可以实现旋转运动。该运动平台的精度对晶圆最终的光刻有重要的影响。因此对运动形式和运动精度提出了很高的要求。三英已将该设备成功应用于晶圆对准的装备中了。 三英精控其他纳米位移台 三英精控还可以根据不同需求来进行定制，如有需求，欢迎来电咨询。咨询热线：18526695114
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【概要描述】
圆晶对准系统
晶圆对准系统是IC制造工艺中不可或缺的装备。它是一个包含机械、电子、光学、计算机等多学科、高科技产品，其目的是在硅晶圆被传送到曝光台之前，对硅晶圆进行定位处理。对准的定位精度决定硅晶圆是否准确的落入曝光台的视野之内，从而影响整个系统的效率和成品率。
因此三英精控开发了新的纳米位移台产品，能很好的用于晶圆的位置调整，达到晶圆对准的目的。
三英精控新型纳米位移台
该纳米位移台不仅能实现X、Y方向上的移动，同时可以实现旋转运动。该运动平台的精度对晶圆最终的光刻有重要的影响。因此对运动形式和运动精度提出了很高的要求。三英已将该设备成功应用于晶圆对准的装备中了。
三英精控其他纳米位移台
三英精控还可以根据不同需求来进行定制，如有需求，欢迎来电咨询。咨询热线：18526695114
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晶圆对准系统是IC制造工艺中不可或缺的装备。它是一个包含机械、电子、光学、计算机等多学科、高科技产品，其目的是在硅晶圆被传送到曝光台之前，对硅晶圆进行定位处理。对准的定位精度决定硅晶圆是否准确的落入曝光台的视野之内，从而影响整个系统的效率和成品率。
因此三英精控开发了新的纳米位移台产品，能很好的用于晶圆的位置调整，达到晶圆对准的目的。
三英精控新型纳米位移台
该纳米位移台不仅能实现X、Y方向上的移动，同时可以实现旋转运动。该运动平台的精度对晶圆最终的光刻有重要的影响。因此对运动形式和运动精度提出了很高的要求。三英已将该设备成功应用于晶圆对准的装备中了。
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三英精控（天津）仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发，并致力于为科学研究、创新研发及高端仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成，满足市场对精密运动控制技术需求的专业制造商。
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