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电动位移台应用案例——光学显微镜改造
电动位移台应用案例——光学显微镜改造
电动位移台应用案例——光学显微镜改造
发布时间 : 2023-03-09 16:56:35
光学显微镜改造的必要性 光学显微镜在工程领域及科学研究中发挥着重要作用。随着被测物的不断变化，对显微镜测量精度的要求不断提高，对载物台的位移精度、实现功能要求越来越高，电动化的需求日渐显现，特别是在高倍率物镜下，视野范围小，任何不精准的移动都可能造成被观察的特征移出视野范围的可能。 如何实现光学显微镜升级改造 现有手动载物台可以实现多轴的移动或转动调节，并可通过手轮提供精度较高的位移步距。但手动载物台存在一些限制：不能恒定的输出相同的步距，存在人为误差；随使用时间的增加，手轮的阻尼会越来越小，容易出现无法精确定位的情况，且更容易受到外界的干扰；手动载物台需要人为接触操作，当由显示器观察时，因距离的关系操作非常不便，而长时间使用目镜观测会导致眼睛疲劳。 电动位移台因为精度高响应快，广泛用作电动载物台。电动载物台能够实现高精度的位移输出，更加准确的量化步距，实现高精度重复定位和细致的位移控制等功能，提升研究工作的效率。 除了实现载物台电动化，配合集散控制技术和模块化嵌入式结构还可以进一步实现显微镜自动化升级改造。 通过先进的控制技术，可以实现载物台XYZ三轴控制，快速大范围自动对焦；采用二维自动载物平台，实现样品的自动调整，高效快速的将目标样品调整到物镜的视场内；采用CCD将图像传输到显示器上，彻底脱离站立式人眼观察样品的模式。 升级改造后的全自动显微镜可通过软件实现全景自动扫描、自动拼图、自动回位、同步浏览、远程遥控等全自动化功能，可以大大提高使用者的工作效率目。
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光学显微镜改造的必要性







光学显微镜在工程领域及科学研究中发挥着重要作用。随着被测物的不断变化，对显微镜测量精度的要求不断提高，对载物台的位移精度、实现功能要求越来越高，电动化的需求日渐显现，特别是在高倍率物镜下，视野范围小，任何不精准的移动都可能造成被观察的特征移出视野范围的可能。







如何实现光学显微镜升级改造







现有手动载物台可以实现多轴的移动或转动调节，并可通过手轮提供精度较高的位移步距。但手动载物台存在一些限制：不能恒定的输出相同的步距，存在人为误差；随使用时间的增加，手轮的阻尼会越来越小，容易出现无法精确定位的情况，且更容易受到外界的干扰；手动载物台需要人为接触操作，当由显示器观察时，因距离的关系操作非常不便，而长时间使用目镜观测会导致眼睛疲劳。

电动位移台因为精度高响应快，广泛用作电动载物台。电动载物台能够实现高精度的位移输出，更加准确的量化步距，实现高精度重复定位和细致的位移控制等功能，提升研究工作的效率。

除了实现载物台电动化，配合集散控制技术和模块化嵌入式结构还可以进一步实现显微镜自动化升级改造。

通过先进的控制技术，可以实现载物台XYZ三轴控制，快速大范围自动对焦；采用二维自动载物平台，实现样品的自动调整，高效快速的将目标样品调整到物镜的视场内；采用CCD将图像传输到显示器上，彻底脱离站立式人眼观察样品的模式。

升级改造后的全自动显微镜可通过软件实现全景自动扫描、自动拼图、自动回位、同步浏览、远程遥控等全自动化功能，可以大大提高使用者的工作效率目。



纳米位移台在原子力显微镜中的作用
纳米位移台在原子力显微镜中的作用
纳米位移台在原子力显微镜中的作用
发布时间 : 2023-01-29 09:01:01
关于原子力显微镜 纳米科技在现代社会发展中起着越来越重要的作用，纳米科技的发展离不开高分辨表面分析工具的发展，原子力显微镜凭借其超高分辨率成为研究纳米科技的有力工具在各领域有着广泛应用，其不仅可以用于物质表面结构、表面摩擦学和材料力学、电学性能的研究，还可以用于原子操纵、物质的纳米级加工等。纳米位移台是原子力显微镜的核心部件，其性能直接决定了原子力显微镜的分辨率性能。   原子力显微镜工作原理 原子力显微镜的工作原理如下图所示，当探针尖端与样品表面间的距离达到一定时会引起原子力的变化，在相互作用力的影响下悬臂发生偏转，通过光电检测器将悬臂的偏转信息由光信号转换为电信号，经过反馈电路，将此电信号与预期值进行对比，控制压电陶瓷扫描器运动，记录压电陶瓷在Z向的位移值，结合压电陶瓷扫描器XY方向的运动，可以得到样品的表面形貌图。   原子力显微镜的工作原理示意图 由AFM工作原理、探针与样品间的相互作用力及扫描方式可知，当AFM探针针尖与待测样品表面的距离达到纳米级时，悬臂探针与样品表面原子之间才能产生稳定的原子力，用于探测样品表面的形貌。   三英精控相关产品 三英开发的纳米位移台借助于具有无限分辨率的压电陶瓷驱动器及柔性铰链无摩擦的特点，使其具有线性度好、分辨率高、扫描速度快等特点，已良好的应用于原子力显微镜了。 三英精控还可以根据不同需求来进行定制，如有需求，欢迎来电咨询。咨询热线：18526695114
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关于原子力显微镜









纳米科技在现代社会发展中起着越来越重要的作用，纳米科技的发展离不开高分辨表面分析工具的发展，原子力显微镜凭借其超高分辨率成为研究纳米科技的有力工具在各领域有着广泛应用，其不仅可以用于物质表面结构、表面摩擦学和材料力学、电学性能的研究，还可以用于原子操纵、物质的纳米级加工等。纳米位移台是原子力显微镜的核心部件，其性能直接决定了原子力显微镜的分辨率性能。



 









原子力显微镜工作原理









原子力显微镜的工作原理如下图所示，当探针尖端与样品表面间的距离达到一定时会引起原子力的变化，在相互作用力的影响下悬臂发生偏转，通过光电检测器将悬臂的偏转信息由光信号转换为电信号，经过反馈电路，将此电信号与预期值进行对比，控制压电陶瓷扫描器运动，记录压电陶瓷在Z向的位移值，结合压电陶瓷扫描器XY方向的运动，可以得到样品的表面形貌图。

 



原子力显微镜的工作原理示意图

由AFM工作原理、探针与样品间的相互作用力及扫描方式可知，当AFM探针针尖与待测样品表面的距离达到纳米级时，悬臂探针与样品表面原子之间才能产生稳定的原子力，用于探测样品表面的形貌。



 









三英精控相关产品









三英开发的纳米位移台借助于具有无限分辨率的压电陶瓷驱动器及柔性铰链无摩擦的特点，使其具有线性度好、分辨率高、扫描速度快等特点，已良好的应用于原子力显微镜了。



三英精控还可以根据不同需求来进行定制，如有需求，欢迎来电咨询。咨询热线：18526695114




压电纳米定位台在光纤端面检测方面的应用
压电纳米定位台在光纤端面检测方面的应用
压电纳米定位台在光纤端面检测方面的应用
发布时间 : 2023-01-06 09:42:52
压电纳米定位台具有移动面，是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出，分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性，在精密定位领域中发挥着主要作用。
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压电纳米定位台具有移动面，是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出，分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性，在精密定位领域中发挥着主要作用。
【应用案例】三英精控自主研发新型纳米位移台已应用于晶圆对准系统
【应用案例】三英精控自主研发新型纳米位移台已应用于晶圆对准系统
【应用案例】三英精控自主研发新型纳米位移台已应用于晶圆对准系统
发布时间 : 2022-12-28 09:25:05
圆晶对准系统 晶圆对准系统是IC制造工艺中不可或缺的装备。它是一个包含机械、电子、光学、计算机等多学科、高科技产品，其目的是在硅晶圆被传送到曝光台之前，对硅晶圆进行定位处理。对准的定位精度决定硅晶圆是否准确的落入曝光台的视野之内，从而影响整个系统的效率和成品率。 因此三英精控开发了新的纳米位移台产品，能很好的用于晶圆的位置调整，达到晶圆对准的目的。   三英精控新型纳米位移台 该纳米位移台不仅能实现X、Y方向上的移动，同时可以实现旋转运动。该运动平台的精度对晶圆最终的光刻有重要的影响。因此对运动形式和运动精度提出了很高的要求。三英已将该设备成功应用于晶圆对准的装备中了。   三英精控其他纳米位移台 三英精控还可以根据不同需求来进行定制，如有需求，欢迎来电咨询。咨询热线：18526695114
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圆晶对准系统







晶圆对准系统是IC制造工艺中不可或缺的装备。它是一个包含机械、电子、光学、计算机等多学科、高科技产品，其目的是在硅晶圆被传送到曝光台之前，对硅晶圆进行定位处理。对准的定位精度决定硅晶圆是否准确的落入曝光台的视野之内，从而影响整个系统的效率和成品率。



因此三英精控开发了新的纳米位移台产品，能很好的用于晶圆的位置调整，达到晶圆对准的目的。











 

三英精控新型纳米位移台







该纳米位移台不仅能实现X、Y方向上的移动，同时可以实现旋转运动。该运动平台的精度对晶圆最终的光刻有重要的影响。因此对运动形式和运动精度提出了很高的要求。三英已将该设备成功应用于晶圆对准的装备中了。

 







三英精控其他纳米位移台







三英精控还可以根据不同需求来进行定制，如有需求，欢迎来电咨询。咨询热线：18526695114


直线电机平移台的主要应用场景
直线电机平移台的主要应用场景
直线电机平移台的主要应用场景
发布时间 : 2022-12-26 13:29:45
关于直线电机平移台 直线电机平移台是指采用直线电机作为驱动电机的高精度位移台。直线电机省去了动力传动系统中的机械部件，可以并将驱动力无摩擦地直接传递到运动平台，保证了直线电机位移台无摩擦、无回程间隙、无滞后的特点。非常适合对精度有超高要求的定位任务。   直线电机平移台可应用场景 直线电机平移台因具备高速度、高精度、高稳定性、高频响等特点被广泛运用于各大领域。几乎需要提供快速、精密定位直线运动的场景都用得上直线电机滑台。如： 电子行业设备：点胶机，贴片机等； 激光设备：激光切割机，激光打标机等； 喷涂设备：自动喷涂机等； 电池设备：动力电池叠片机等； 医疗设备：CT机、手术床等； 检测设备：DNA测序仪、耐疲劳测试仪、影像视觉检测等。   直线电机平移台的典型应用 1、喷漆作业 利用直线电机滑台可准确定位且稳定运转之特性； 2、影像视觉检测装置 利用直线电机滑台高定位精度及告诉运转稳定度之特性，可用来执行外观之AOI检查； 3、表面处理 利用直线电机滑台可等速且稳定之移动特性，可将工件挂于滑台上浸入溶剂内，可顺利执行表面处理之作业； 4、电路板切割作业 利用直线电机滑台可等速且稳定之移动特性，搭配切刀机构来执行裁切之作业； 5、生产线搬运作业 利用直线电机平台高负荷及可告诉运转之特性，可用来执行输送带上之物品搬运作业； 6、包装整列作业 利用直线电机滑台高定位精度之特性，可用在输送带上做整列之动作。   三英精控相关产品 DLSN系列直线电机平移台 特点：非接触直接驱动系统、超高精度、极佳的动态性能。 使用场所：小空间场所、光学腔体、半导体晶片检测、传感器测试与检测、激光加工、超精密装配。 说明： 1.产品主体部分选用经时效处理的高强度航空铝制成，保证长期稳定性； 2.超精密级交叉滚子导轨，具有超高精度的轨迹控制； 3.配套具有超低膨胀系数的铟钢光栅系统； 4.采用中心驱动的方式并选用无铁芯直线电机，具有无摩擦、无回程间隙、无滞后等特点，同时具有较高的速度、加速度及系统响应特性。   三英精控还可以根据不同需求来进行定制，满足不同应用场合。更多产品信息，请持续关注三英精控或来电咨询。 咨询热线：18526695114
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关于直线电机平移台







直线电机平移台是指采用直线电机作为驱动电机的高精度位移台。直线电机省去了动力传动系统中的机械部件，可以并将驱动力无摩擦地直接传递到运动平台，保证了直线电机位移台无摩擦、无回程间隙、无滞后的特点。非常适合对精度有超高要求的定位任务。

 








直线电机平移台可应用场景








直线电机平移台因具备高速度、高精度、高稳定性、高频响等特点被广泛运用于各大领域。几乎需要提供快速、精密定位直线运动的场景都用得上直线电机滑台。如：

电子行业设备：点胶机，贴片机等；

激光设备：激光切割机，激光打标机等；

喷涂设备：自动喷涂机等；

电池设备：动力电池叠片机等；

医疗设备：CT机、手术床等；

检测设备：DNA测序仪、耐疲劳测试仪、影像视觉检测等。







 






直线电机平移台的典型应用








1、喷漆作业





利用直线电机滑台可准确定位且稳定运转之特性；





2、影像视觉检测装置





利用直线电机滑台高定位精度及告诉运转稳定度之特性，可用来执行外观之AOI检查；





3、表面处理





利用直线电机滑台可等速且稳定之移动特性，可将工件挂于滑台上浸入溶剂内，可顺利执行表面处理之作业；





4、电路板切割作业





利用直线电机滑台可等速且稳定之移动特性，搭配切刀机构来执行裁切之作业；





5、生产线搬运作业


利用直线电机平台高负荷及可告诉运转之特性，可用来执行输送带上之物品搬运作业；






6、包装整列作业





利用直线电机滑台高定位精度之特性，可用在输送带上做整列之动作。





 






三英精控相关产品










DLSN系列直线电机平移台











特点：非接触直接驱动系统、超高精度、极佳的动态性能。

使用场所：小空间场所、光学腔体、半导体晶片检测、传感器测试与检测、激光加工、超精密装配。















说明：

1.产品主体部分选用经时效处理的高强度航空铝制成，保证长期稳定性；

2.超精密级交叉滚子导轨，具有超高精度的轨迹控制；

3.配套具有超低膨胀系数的铟钢光栅系统；

4.采用中心驱动的方式并选用无铁芯直线电机，具有无摩擦、无回程间隙、无滞后等特点，同时具有较高的速度、加速度及系统响应特性。





 





三英精控还可以根据不同需求来进行定制，满足不同应用场合。更多产品信息，请持续关注三英精控或来电咨询。

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【应用案例】纳米位移台在白光干涉仪中的应用
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发布时间 : 2022-12-14 16:10:24
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电动位移台应用案例——光学显微镜改造

光学显微镜改造的必要性 光学显微镜在工程领域及科学研究中发挥着重要作用。随着被测物的不断变化，对显微镜测量精度的要求不断提高，对载物台的位移精度、实现功能要求越来越高，电动化的需求日渐显现，特别是在高倍率物镜下，视野范围小，任何不精准的移动都可能造成被观察的特征移出视野范围的可能。 如何实现光学显微镜升级改造 现有手动载物台可以实现多轴的移动或转动调节，并可通过手轮提供精度较高的位移步距。但手动载物台存在一些限制：不能恒定的输出相同的步距，存在人为误差；随使用时间的增加，手轮的阻尼会越来越小，容易出现无法精确定位的情况，且更容易受到外界的干扰；手动载物台需要人为接触操作，当由显示器观察时，因距离的关系操作非常不便，而长时间使用目镜观测会导致眼睛疲劳。 电动位移台因为精度高响应快，广泛用作电动载物台。电动载物台能够实现高精度的位移输出，更加准确的量化步距，实现高精度重复定位和细致的位移控制等功能，提升研究工作的效率。 除了实现载物台电动化，配合集散控制技术和模块化嵌入式结构还可以进一步实现显微镜自动化升级改造。 通过先进的控制技术，可以实现载物台XYZ三轴控制，快速大范围自动对焦；采用二维自动载物平台，实现样品的自动调整，高效快速的将目标样品调整到物镜的视场内；采用CCD将图像传输到显示器上，彻底脱离站立式人眼观察样品的模式。 升级改造后的全自动显微镜可通过软件实现全景自动扫描、自动拼图、自动回位、同步浏览、远程遥控等全自动化功能，可以大大提高使用者的工作效率目。
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29
2023-01

纳米位移台在原子力显微镜中的作用

发布时间 : 2023-01--29 点击量 : 72
关于原子力显微镜 纳米科技在现代社会发展中起着越来越重要的作用，纳米科技的发展离不开高分辨表面分析工具的发展，原子力显微镜凭借其超高分辨率成为研究纳米科技的有力工具在各领域有着广泛应用，其不仅可以用于物质表面结构、表面摩擦学和材料力学、电学性能的研究，还可以用于原子操纵、物质的纳米级加工等。纳米位移台是原子力显微镜的核心部件，其性能直接决定了原子力显微镜的分辨率性能。   原子力显微镜工作原理 原子力显微镜的工作原理如下图所示，当探针尖端与样品表面间的距离达到一定时会引起原子力的变化，在相互作用力的影响下悬臂发生偏转，通过光电检测器将悬臂的偏转信息由光信号转换为电信号，经过反馈电路，将此电信号与预期值进行对比，控制压电陶瓷扫描器运动，记录压电陶瓷在Z向的位移值，结合压电陶瓷扫描器XY方向的运动，可以得到样品的表面形貌图。   原子力显微镜的工作原理示意图 由AFM工作原理、探针与样品间的相互作用力及扫描方式可知，当AFM探针针尖与待测样品表面的距离达到纳米级时，悬臂探针与样品表面原子之间才能产生稳定的原子力，用于探测样品表面的形貌。   三英精控相关产品 三英开发的纳米位移台借助于具有无限分辨率的压电陶瓷驱动器及柔性铰链无摩擦的特点，使其具有线性度好、分辨率高、扫描速度快等特点，已良好的应用于原子力显微镜了。 三英精控还可以根据不同需求来进行定制，如有需求，欢迎来电咨询。咨询热线：18526695114
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06
2023-01

压电纳米定位台在光纤端面检测方面的应用

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2022-12

【应用案例】三英精控自主研发新型纳米位移台已应用于晶圆对准系统

发布时间 : 2022-12--28 点击量 : 42
圆晶对准系统 晶圆对准系统是IC制造工艺中不可或缺的装备。它是一个包含机械、电子、光学、计算机等多学科、高科技产品，其目的是在硅晶圆被传送到曝光台之前，对硅晶圆进行定位处理。对准的定位精度决定硅晶圆是否准确的落入曝光台的视野之内，从而影响整个系统的效率和成品率。 因此三英精控开发了新的纳米位移台产品，能很好的用于晶圆的位置调整，达到晶圆对准的目的。   三英精控新型纳米位移台 该纳米位移台不仅能实现X、Y方向上的移动，同时可以实现旋转运动。该运动平台的精度对晶圆最终的光刻有重要的影响。因此对运动形式和运动精度提出了很高的要求。三英已将该设备成功应用于晶圆对准的装备中了。   三英精控其他纳米位移台 三英精控还可以根据不同需求来进行定制，如有需求，欢迎来电咨询。咨询热线：18526695114
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2022-12

直线电机平移台的主要应用场景

发布时间 : 2022-12--26 点击量 : 112
关于直线电机平移台 直线电机平移台是指采用直线电机作为驱动电机的高精度位移台。直线电机省去了动力传动系统中的机械部件，可以并将驱动力无摩擦地直接传递到运动平台，保证了直线电机位移台无摩擦、无回程间隙、无滞后的特点。非常适合对精度有超高要求的定位任务。   直线电机平移台可应用场景 直线电机平移台因具备高速度、高精度、高稳定性、高频响等特点被广泛运用于各大领域。几乎需要提供快速、精密定位直线运动的场景都用得上直线电机滑台。如： 电子行业设备：点胶机，贴片机等； 激光设备：激光切割机，激光打标机等； 喷涂设备：自动喷涂机等； 电池设备：动力电池叠片机等； 医疗设备：CT机、手术床等； 检测设备：DNA测序仪、耐疲劳测试仪、影像视觉检测等。   直线电机平移台的典型应用 1、喷漆作业 利用直线电机滑台可准确定位且稳定运转之特性； 2、影像视觉检测装置 利用直线电机滑台高定位精度及告诉运转稳定度之特性，可用来执行外观之AOI检查； 3、表面处理 利用直线电机滑台可等速且稳定之移动特性，可将工件挂于滑台上浸入溶剂内，可顺利执行表面处理之作业； 4、电路板切割作业 利用直线电机滑台可等速且稳定之移动特性，搭配切刀机构来执行裁切之作业； 5、生产线搬运作业 利用直线电机平台高负荷及可告诉运转之特性，可用来执行输送带上之物品搬运作业； 6、包装整列作业 利用直线电机滑台高定位精度之特性，可用在输送带上做整列之动作。   三英精控相关产品 DLSN系列直线电机平移台 特点：非接触直接驱动系统、超高精度、极佳的动态性能。 使用场所：小空间场所、光学腔体、半导体晶片检测、传感器测试与检测、激光加工、超精密装配。 说明： 1.产品主体部分选用经时效处理的高强度航空铝制成，保证长期稳定性； 2.超精密级交叉滚子导轨，具有超高精度的轨迹控制； 3.配套具有超低膨胀系数的铟钢光栅系统； 4.采用中心驱动的方式并选用无铁芯直线电机，具有无摩擦、无回程间隙、无滞后等特点，同时具有较高的速度、加速度及系统响应特性。   三英精控还可以根据不同需求来进行定制，满足不同应用场合。更多产品信息，请持续关注三英精控或来电咨询。 咨询热线：18526695114
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2022-12

【应用案例】纳米位移台在白光干涉仪中的应用

发布时间 : 2022-12--14 点击量 : 0
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