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纳米位移台的主要组成部分及其分类(一)
纳米位移台的主要组成部分及其分类(一)
纳米位移台的主要组成部分 纳米位移台作为微观领域内常用的机械机构,已经有了一套成熟系统。其中主要包括驱动控制机构、导向机构和检测装置。今天就带大家了解一下几类主流驱动控制机构。 微位移驱动器 微位移驱动器是微纳定位平台系统的关键部分。驱动器的特性和精度对定位平台系统的性能有着重要影响。目前主要有以下几种微位移驱动器: ①形状记忆合金驱动器 形状记忆合金驱动器(Shape Memory Alloy Actuator)的内在相变可引发形状改变,从而产生的位移或力来作为驱动源。根据相变诱发原因的不同,可分为应力诱发的伪弹性行为和温度诱发的形状记忆效应。形状基合金驱动器的优点是做功密度大,可恢复应变大。变形回复应力大,良好的生物相容性,无噪声,缺点是能耗高,不易控制,频响非常低,不宜用在需要快速定位的场合。 ②静电驱动器 静电驱动器(Electrostatic Actuator)有两个不同电荷的传导极板,将一定电压施加在两极板之间,可产生极板间的牵引力。从而使传导极板发生位移。经典执行器的优点在于形式相对简单、易与微电子工艺集成;缺点是若需要提供较大的牵引力则需要非常高的外部电压,对工作环境要求高,粉尘等对驱动器有较大影响。 ③电致伸缩驱动器 电致伸缩驱动器(Electrostritive Actuator)的微位移原理是电致伸缩效应,即在电场作用下产生的驱动器的应变与电场强度的平方成正比。电致伸缩驱动器的优点是体积小、结构紧凑、易于控制;缺点是温漂系数较大,低电压段和高电压点的位移分辨率不一致,存在迟滞、非线性和蠕变。 ④超磁致伸缩驱动器 超磁致伸缩驱动器(Giant Magnetostrictive Actuator)是利用磁致伸缩材料的纵向磁弹性变化来实现微驱动。超磁致伸缩驱动器的优点是输出位移大、响应速度快、频响宽、驱动电压低、驱动力强;缺点是定位精度受温度影响较大,并存在迟滞非线性。 ⑤压电陶瓷驱动器 压电陶瓷驱动器(Piezoelectric Ceramic Actuator)是利用利压电逆效应来实现为驱动的,即在压电陶瓷体上施加一个与极化方向相同的电场,陶瓷体将会伸长。压电陶瓷驱动器因具有位移分辨率高、结构简单、发热小、体积小、刚度高、响应速度快、不受磁场干扰、无摩擦、不需润滑等优点被广泛的应用于微纳定位系统中。但压电陶瓷驱动器也存在位移伸长量小,不能承受拉力和扭力,有迟滞非线性和蠕变等缺点。在实际应用中,需要设计放大机构,选择合适的压电陶瓷驱动器安装方式,以及采取一定驱动器建模和控制方法来减小上述缺点带来的不利影响,提高定位精度。 下期将继续为大家分享导向机构及其主要类别,敬请期待。更多行业资讯及产品信息,请持续关注三英精控或来电咨询。 咨询热线:18526695114
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纳米位移台的主要组成部分






纳米位移台作为微观领域内常用的机械机构,已经有了一套成熟系统。其中主要包括驱动控制机构、导向机构和检测装置。今天就带大家了解一下几类主流驱动控制机构。










微位移驱动器






微位移驱动器是微纳定位平台系统的关键部分。驱动器的特性和精度对定位平台系统的性能有着重要影响。目前主要有以下几种微位移驱动器:




①形状记忆合金驱动器




形状记忆合金驱动器(Shape Memory Alloy Actuator)的内在相变可引发形状改变,从而产生的位移或力来作为驱动源。根据相变诱发原因的不同,可分为应力诱发的伪弹性行为和温度诱发的形状记忆效应。形状基合金驱动器的优点是做功密度大,可恢复应变大。变形回复应力大,良好的生物相容性,无噪声,缺点是能耗高,不易控制,频响非常低,不宜用在需要快速定位的场合。








②静电驱动器




静电驱动器(Electrostatic Actuator)有两个不同电荷的传导极板,将一定电压施加在两极板之间,可产生极板间的牵引力。从而使传导极板发生位移。经典执行器的优点在于形式相对简单、易与微电子工艺集成;缺点是若需要提供较大的牵引力则需要非常高的外部电压,对工作环境要求高,粉尘等对驱动器有较大影响。








③电致伸缩驱动器




电致伸缩驱动器(Electrostritive Actuator)的微位移原理是电致伸缩效应,即在电场作用下产生的驱动器的应变与电场强度的平方成正比。电致伸缩驱动器的优点是体积小、结构紧凑、易于控制;缺点是温漂系数较大,低电压段和高电压点的位移分辨率不一致,存在迟滞、非线性和蠕变。




④超磁致伸缩驱动器




超磁致伸缩驱动器(Giant Magnetostrictive Actuator)是利用磁致伸缩材料的纵向磁弹性变化来实现微驱动。超磁致伸缩驱动器的优点是输出位移大、响应速度快、频响宽、驱动电压低、驱动力强;缺点是定位精度受温度影响较大,并存在迟滞非线性。




⑤压电陶瓷驱动器




压电陶瓷驱动器(Piezoelectric Ceramic Actuator)是利用利压电逆效应来实现为驱动的,即在压电陶瓷体上施加一个与极化方向相同的电场,陶瓷体将会伸长。压电陶瓷驱动器因具有位移分辨率高、结构简单、发热小、体积小、刚度高、响应速度快、不受磁场干扰、无摩擦、不需润滑等优点被广泛的应用于微纳定位系统中。但压电陶瓷驱动器也存在位移伸长量小,不能承受拉力和扭力,有迟滞非线性和蠕变等缺点。在实际应用中,需要设计放大机构,选择合适的压电陶瓷驱动器安装方式,以及采取一定驱动器建模和控制方法来减小上述缺点带来的不利影响,提高定位精度。




下期将继续为大家分享导向机构及其主要类别,敬请期待。更多行业资讯及产品信息,请持续关注三英精控或来电咨询。

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常用高精度位移传感器的种类——第二部分
常用高精度位移传感器的种类——第二部分
在之前的文章里,已经介绍了激光位移传感器、电容传感器、电涡流传感器和电感位移传感器(没看过可以戳这里→常用高精度位移传感器的种类与应用),接下来我们继续介绍位移传感器: 拉绳位移传感器 拉绳位移传感器使用一种高度灵活的钢绳测量线性运动。钢绳鼓轮与传感器电子元件相连接,后者将位移量转换成线性信号输出。测量以高精度和高动态进行。高质量的组件确保了较长的使用寿命和较高的运行可靠性。  拉绳位移传感器可用于汽车工业避震器变形检测、医用X光机定位测量、手术室专用全自动可调节病床、工程叉车测量负载高度、风机叶片变形测量、CT机床身移动测量、飞机机翼应力变形测量等。   光幕千分尺传感器 主要是由发光器和接收器组成,发射器和接收器通电后,会产生平行光幕,该光幕通过透镜布置传送到接收单元。如果光路中有物体,光束就会中断。由这个产生的阴影对象被接收光学系统记录并输出为几何值。  光幕千分尺传感器凸轮轴轮廓测量、测量玻璃间隙检测、塑料薄膜厚度检测、自动化产线精密滑轮尺寸检测、高速流程中产品检测、汽车轴瓦安装检测、隐形眼镜外形测量等。   激光时差式测距传感器 激光时差式测距传感器是利用调制激光的某个参数实现对目标的距离测量的仪器,测量范围为3.5~5000米。按照测距方法分为相位法测距仪和脉冲法测距仪。相位法激光测距仪是利用检测发射光和反射光在空间中传播时发生的相位差来检测距离的。脉冲式激光测距仪是在工作时向目标射出一束或一序列短暂的脉冲激光束,由光电元件接收目标反射的激光束,计时器测定激光束从发射到接收的时间,计算出从观测者到目标的距离。  激光时差式测距传感器可用于飞行器高度测量、港口大型机械定位、建筑物沉降幅度测量、铁轨传送带支架间距测量、船舶船体总体振动检测、船载柴油发动机机架抗冲击试验等。   磁感应式位移传感器 磁感应式位移传感器集合了电感式位移传感器和磁位移传感器的优势。磁感应式位移传感器常被用于替代电感式位移传感器和接近开关,用于自动化过程控制,包装工业和设备监控。一片磁铁被固定于被测物表面,传感器就可以输出连续,线性测量信号。随着不同强度磁片被使用,测量量程可以从20mm到55mm。但是,为了改变量程,仅需要改变磁片即可实现。 更多产品信息和行业资讯,请持续关注三英精控或来电咨询。 咨询热线:18526695114
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在之前的文章里,已经介绍了激光位移传感器、电容传感器、电涡流传感器和电感位移传感器(没看过可以戳这里→常用高精度位移传感器的种类与应用),接下来我们继续介绍位移传感器:







拉绳位移传感器






拉绳位移传感器使用一种高度灵活的钢绳测量线性运动。钢绳鼓轮与传感器电子元件相连接,后者将位移量转换成线性信号输出。测量以高精度和高动态进行。高质量的组件确保了较长的使用寿命和较高的运行可靠性。 






拉绳位移传感器可用于汽车工业避震器变形检测、医用X光机定位测量、手术室专用全自动可调节病床、工程叉车测量负载高度、风机叶片变形测量、CT机床身移动测量、飞机机翼应力变形测量等。

 







光幕千分尺传感器






主要是由发光器和接收器组成,发射器和接收器通电后,会产生平行光幕,该光幕通过透镜布置传送到接收单元。如果光路中有物体,光束就会中断。由这个产生的阴影对象被接收光学系统记录并输出为几何值。 






光幕千分尺传感器凸轮轴轮廓测量、测量玻璃间隙检测、塑料薄膜厚度检测、自动化产线精密滑轮尺寸检测、高速流程中产品检测、汽车轴瓦安装检测、隐形眼镜外形测量等。

 







激光时差式测距传感器






激光时差式测距传感器是利用调制激光的某个参数实现对目标的距离测量的仪器,测量范围为3.5~5000米。按照测距方法分为相位法测距仪和脉冲法测距仪。相位法激光测距仪是利用检测发射光和反射光在空间中传播时发生的相位差来检测距离的。脉冲式激光测距仪是在工作时向目标射出一束或一序列短暂的脉冲激光束,由光电元件接收目标反射的激光束,计时器测定激光束从发射到接收的时间,计算出从观测者到目标的距离。 






激光时差式测距传感器可用于飞行器高度测量、港口大型机械定位、建筑物沉降幅度测量、铁轨传送带支架间距测量、船舶船体总体振动检测、船载柴油发动机机架抗冲击试验等。

 







磁感应式位移传感器






磁感应式位移传感器集合了电感式位移传感器和磁位移传感器的优势。磁感应式位移传感器常被用于替代电感式位移传感器和接近开关,用于自动化过程控制,包装工业和设备监控。一片磁铁被固定于被测物表面,传感器就可以输出连续,线性测量信号。随着不同强度磁片被使用,测量量程可以从20mm到55mm。但是,为了改变量程,仅需要改变磁片即可实现。






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纳米位移台在原子力显微镜中的作用
纳米位移台在原子力显微镜中的作用
发布时间 : 2023-01-29 09:01:01
关于原子力显微镜 纳米科技在现代社会发展中起着越来越重要的作用,纳米科技的发展离不开高分辨表面分析工具的发展,原子力显微镜凭借其超高分辨率成为研究纳米科技的有力工具在各领域有着广泛应用,其不仅可以用于物质表面结构、表面摩擦学和材料力学、电学性能的研究,还可以用于原子操纵、物质的纳米级加工等。纳米位移台是原子力显微镜的核心部件,其性能直接决定了原子力显微镜的分辨率性能。   原子力显微镜工作原理 原子力显微镜的工作原理如下图所示,当探针尖端与样品表面间的距离达到一定时会引起原子力的变化,在相互作用力的影响下悬臂发生偏转,通过光电检测器将悬臂的偏转信息由光信号转换为电信号,经过反馈电路,将此电信号与预期值进行对比,控制压电陶瓷扫描器运动,记录压电陶瓷在Z向的位移值,结合压电陶瓷扫描器XY方向的运动,可以得到样品的表面形貌图。   原子力显微镜的工作原理示意图 由AFM工作原理、探针与样品间的相互作用力及扫描方式可知,当AFM探针针尖与待测样品表面的距离达到纳米级时,悬臂探针与样品表面原子之间才能产生稳定的原子力,用于探测样品表面的形貌。   三英精控相关产品 三英开发的纳米位移台借助于具有无限分辨率的压电陶瓷驱动器及柔性铰链无摩擦的特点,使其具有线性度好、分辨率高、扫描速度快等特点,已良好的应用于原子力显微镜了。 三英精控还可以根据不同需求来进行定制,如有需求,欢迎来电咨询。咨询热线:18526695114
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关于原子力显微镜









纳米科技在现代社会发展中起着越来越重要的作用,纳米科技的发展离不开高分辨表面分析工具的发展,原子力显微镜凭借其超高分辨率成为研究纳米科技的有力工具在各领域有着广泛应用,其不仅可以用于物质表面结构、表面摩擦学和材料力学、电学性能的研究,还可以用于原子操纵、物质的纳米级加工等。纳米位移台是原子力显微镜的核心部件,其性能直接决定了原子力显微镜的分辨率性能。



 









原子力显微镜工作原理









原子力显微镜的工作原理如下图所示,当探针尖端与样品表面间的距离达到一定时会引起原子力的变化,在相互作用力的影响下悬臂发生偏转,通过光电检测器将悬臂的偏转信息由光信号转换为电信号,经过反馈电路,将此电信号与预期值进行对比,控制压电陶瓷扫描器运动,记录压电陶瓷在Z向的位移值,结合压电陶瓷扫描器XY方向的运动,可以得到样品的表面形貌图。

 



原子力显微镜的工作原理示意图

由AFM工作原理、探针与样品间的相互作用力及扫描方式可知,当AFM探针针尖与待测样品表面的距离达到纳米级时,悬臂探针与样品表面原子之间才能产生稳定的原子力,用于探测样品表面的形貌。



 









三英精控相关产品









三英开发的纳米位移台借助于具有无限分辨率的压电陶瓷驱动器及柔性铰链无摩擦的特点,使其具有线性度好、分辨率高、扫描速度快等特点,已良好的应用于原子力显微镜了。



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【三英科普】微纳科技的特点及应用前景
【三英科普】微纳科技的特点及应用前景
随着微纳科技的迅猛发展,具有微米运动范围及微/纳米级定位精度的精密定位平台及相关技术己被广泛应用于微系统工程、生物工程、医学工程、光学制造、航空航天等重要科学工程领域。但目前具有亚微米级以上位移分辨率,毫米级以上运动行程的跨尺度精密定位技术成为微纳驱动控制领域的研究热点和难点。跨尺度精密定位技术在纳米操作、大规模集成电路制造和生物技术等众多领域都有着广泛的应用前景。   在微纳米操作领域中,由于微纳米操作对象的尺度特征微小,通常需借助STM、AFM等显微系统实现对对象的观察、识别和操作。往往需要在STM、AFM等狭小空间内安装精密定位平台,因此操作中用于操作对象调整的精密定位平台不仅要求具有微/纳米级的定位精度和毫米级的运动行程,且对定位平台本身的尺寸和体积提出了更高要求。 传统的驱动器由于其结构和工作原理的限制,己不能满足众多微型操控系统对微/纳米精度及微小尺寸的需求。但是随着智能材料技术迅猛发展,科研人员致力于研究基于智能材料的新型精密驱动器,由于突出的综合性能,压电陶瓷驱动器成为微纳驱动控制领域中应用最广泛的驱动元件。压电驱动器利用压电材料的逆压电效应,将电能转换为机械能,实现可控的精密驱动。压电驱动器具有体积小、重量轻、精度高、响应快、控制特性好、能量密度大、能耗低、不受磁场干扰等特点,得到了广大研究人员的青睐。 目前应用最多的是基于压电驱动器和柔性铰链的微动平台,该类平台具有结构紧凑、位移分辨率高等优点,但问题在于即使采用位移放大机构,平台的运动范围仍难以达到毫米级,限制了此类微动平台的应用。进一步提高运动范围的最简单措施是采用冲击原理,冲击驱动是实现跨尺度精密定位操作技术的典型驱动方式。通过将电信号输入定子,使得受到激励的定子产生一定轨迹的机械运动,最终驱动动子运动。研究学者通常采用压电驱动器和柔性铰链的定子来冲击驱动动子实现跨尺度精密运动,该类平台具有结构紧凑、控制方便等优点,但设计中都采用定子侧面与动子接触,只能实现单自由度的运动,而多自由度运动将面临摩擦力耦合、预压力施加方式等问题。因此,需要结合微动平台和冲击驱动设计一种紧凑结构实现多自由度跨尺度精密运动,提升压电精密定位平台在STM、AFM等显微系统中的应用效果。   为了解决以上问题,三英精控开发的一系列的纳米微位移台,具有结构紧凑、控制方便、位移分辨率高、运动行程大、响应速度快等优点。 根据机械结构构造形式,纳米位移台可以分为串联和并联两种。串联冲击式多自由度压电驱动机构通过将多个单自由度的机构进行模块化的组合,能够快速实现多自由度运动并且便于控制,而并联冲击式压电驱动机构所有自由度运动集合于同一个运动部件使得结构更紧凑。 三英精控还可以根据不同需求来进行定制,如有需求,欢迎来电咨询。咨询热线:18526695114  
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随着微纳科技的迅猛发展,具有微米运动范围及微/纳米级定位精度的精密定位平台及相关技术己被广泛应用于微系统工程、生物工程、医学工程、光学制造、航空航天等重要科学工程领域。但目前具有亚微米级以上位移分辨率,毫米级以上运动行程的跨尺度精密定位技术成为微纳驱动控制领域的研究热点和难点。跨尺度精密定位技术在纳米操作、大规模集成电路制造和生物技术等众多领域都有着广泛的应用前景。



 



在微纳米操作领域中,由于微纳米操作对象的尺度特征微小,通常需借助STM、AFM等显微系统实现对对象的观察、识别和操作。往往需要在STM、AFM等狭小空间内安装精密定位平台,因此操作中用于操作对象调整的精密定位平台不仅要求具有微/纳米级的定位精度和毫米级的运动行程,且对定位平台本身的尺寸和体积提出了更高要求。





传统的驱动器由于其结构和工作原理的限制,己不能满足众多微型操控系统对微/纳米精度及微小尺寸的需求。但是随着智能材料技术迅猛发展,科研人员致力于研究基于智能材料的新型精密驱动器,由于突出的综合性能,压电陶瓷驱动器成为微纳驱动控制领域中应用最广泛的驱动元件。压电驱动器利用压电材料的逆压电效应,将电能转换为机械能,实现可控的精密驱动。压电驱动器具有体积小、重量轻、精度高、响应快、控制特性好、能量密度大、能耗低、不受磁场干扰等特点,得到了广大研究人员的青睐。





目前应用最多的是基于压电驱动器和柔性铰链的微动平台,该类平台具有结构紧凑、位移分辨率高等优点,但问题在于即使采用位移放大机构,平台的运动范围仍难以达到毫米级,限制了此类微动平台的应用。进一步提高运动范围的最简单措施是采用冲击原理,冲击驱动是实现跨尺度精密定位操作技术的典型驱动方式。通过将电信号输入定子,使得受到激励的定子产生一定轨迹的机械运动,最终驱动动子运动。研究学者通常采用压电驱动器和柔性铰链的定子来冲击驱动动子实现跨尺度精密运动,该类平台具有结构紧凑、控制方便等优点,但设计中都采用定子侧面与动子接触,只能实现单自由度的运动,而多自由度运动将面临摩擦力耦合、预压力施加方式等问题。因此,需要结合微动平台和冲击驱动设计一种紧凑结构实现多自由度跨尺度精密运动,提升压电精密定位平台在STM、AFM等显微系统中的应用效果。



 



为了解决以上问题,三英精控开发的一系列的纳米微位移台,具有结构紧凑、控制方便、位移分辨率高、运动行程大、响应速度快等优点。

根据机械结构构造形式,纳米位移台可以分为串联和并联两种。串联冲击式多自由度压电驱动机构通过将多个单自由度的机构进行模块化的组合,能够快速实现多自由度运动并且便于控制,而并联冲击式压电驱动机构所有自由度运动集合于同一个运动部件使得结构更紧凑。



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【三英科普】三分钟带你了解超精密运动控制技术
【三英科普】三分钟带你了解超精密运动控制技术
什么是超精密运动控制技术? 超精密运动控制技术是一门集精密机械、精密控制、精密驱动、精密传感、精密测量、精密集成技术于一体,实现在纳米精度范围内的运动控制的综合技术,也是三英精控最主要的核心技术。   该技术有什么创新点?能为客户创造什么价值? 公司技术创新点体现在四个方面:一是超精密运动控制平台机构设计方法;二是超精密伺服先进控制算法;三是核心部件的研发;四是系统标定与误差补偿技术。 在技术成熟性论证方面:针对纳米材料、半导体产业、生命科学、精密制造、计量测试技术等领域的需求,攻克了设计与制造、组装与校准等难点问题,突破了纳米位移台有限元优化设计、高精度位移传感器、制造组装工艺、高级控制算法、搭建测试校准平台等关键技术,整体技术指标达到国际先进水平,个别技术指标达到国际领先水平。该技术成果已通过了中国计量科学研究院的验证;公司牵头承担了两项国家科技部项目,其中一项已圆满完成,得到科技部的认可和高度评价。 在应用方面:半导体全产业链的加工、检测设备;LCD/LED及其它显示器制造设备;激光加工设备;生物医学显微镜和操作仪器;卫星激光通讯核心器件;广泛应用于各类精密机床、航空航天以及国防军工业等。 在竞争力方面:公司的核心技术路线符合“中国制造2025”规划的发展方向,是国产替代的关键点之一。并且公司参与制定了两个国家标准:GB/T 38616-2020《纳米定位与扫描平台术语》和GB/T38614-2020《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》。均已于2020年11月实施。   三英精控相关产品 公司基于超精密运动控制技术开发的产品有:纳米位移定位平台系列产品、纳米位移电容传感器系列产品、纳米摆角台系列等。 还可以根据不同需求来进行定制,如有需求,欢迎来电咨询。咨询热线:18526695114
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什么是超精密运动控制技术?







超精密运动控制技术是一门集精密机械、精密控制、精密驱动、精密传感、精密测量、精密集成技术于一体,实现在纳米精度范围内的运动控制的综合技术,也是三英精控最主要的核心技术。



 







该技术有什么创新点?能为客户创造什么价值?







公司技术创新点体现在四个方面:一是超精密运动控制平台机构设计方法;二是超精密伺服先进控制算法;三是核心部件的研发;四是系统标定与误差补偿技术。

在技术成熟性论证方面:针对纳米材料、半导体产业、生命科学、精密制造、计量测试技术等领域的需求,攻克了设计与制造、组装与校准等难点问题,突破了纳米位移台有限元优化设计、高精度位移传感器、制造组装工艺、高级控制算法、搭建测试校准平台等关键技术,整体技术指标达到国际先进水平,个别技术指标达到国际领先水平。该技术成果已通过了中国计量科学研究院的验证;公司牵头承担了两项国家科技部项目,其中一项已圆满完成,得到科技部的认可和高度评价。



在应用方面:半导体全产业链的加工、检测设备;LCD/LED及其它显示器制造设备;激光加工设备;生物医学显微镜和操作仪器;卫星激光通讯核心器件;广泛应用于各类精密机床、航空航天以及国防军工业等。



在竞争力方面:公司的核心技术路线符合“中国制造2025”规划的发展方向,是国产替代的关键点之一。并且公司参与制定了两个国家标准:GB/T 38616-2020《纳米定位与扫描平台术语》和GB/T38614-2020《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》。均已于2020年11月实施。



 







三英精控相关产品







公司基于超精密运动控制技术开发的产品有:纳米位移定位平台系列产品、纳米位移电容传感器系列产品、纳米摆角台系列等。


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压电纳米定位台在光纤端面检测方面的应用
压电纳米定位台在光纤端面检测方面的应用
压电纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。
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压电纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。
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