三英精控(天津)仪器设备有限公司

服务中心

技术信息

全部分类
在线客服
客服热线
022-29516025
服务时间:
8:00 - 18:00
旺旺:
QQ:
【三英科普】微纳科技的特点及应用前景
【三英科普】微纳科技的特点及应用前景
随着微纳科技的迅猛发展,具有微米运动范围及微/纳米级定位精度的精密定位平台及相关技术己被广泛应用于微系统工程、生物工程、医学工程、光学制造、航空航天等重要科学工程领域。但目前具有亚微米级以上位移分辨率,毫米级以上运动行程的跨尺度精密定位技术成为微纳驱动控制领域的研究热点和难点。跨尺度精密定位技术在纳米操作、大规模集成电路制造和生物技术等众多领域都有着广泛的应用前景。   在微纳米操作领域中,由于微纳米操作对象的尺度特征微小,通常需借助STM、AFM等显微系统实现对对象的观察、识别和操作。往往需要在STM、AFM等狭小空间内安装精密定位平台,因此操作中用于操作对象调整的精密定位平台不仅要求具有微/纳米级的定位精度和毫米级的运动行程,且对定位平台本身的尺寸和体积提出了更高要求。 传统的驱动器由于其结构和工作原理的限制,己不能满足众多微型操控系统对微/纳米精度及微小尺寸的需求。但是随着智能材料技术迅猛发展,科研人员致力于研究基于智能材料的新型精密驱动器,由于突出的综合性能,压电陶瓷驱动器成为微纳驱动控制领域中应用最广泛的驱动元件。压电驱动器利用压电材料的逆压电效应,将电能转换为机械能,实现可控的精密驱动。压电驱动器具有体积小、重量轻、精度高、响应快、控制特性好、能量密度大、能耗低、不受磁场干扰等特点,得到了广大研究人员的青睐。 目前应用最多的是基于压电驱动器和柔性铰链的微动平台,该类平台具有结构紧凑、位移分辨率高等优点,但问题在于即使采用位移放大机构,平台的运动范围仍难以达到毫米级,限制了此类微动平台的应用。进一步提高运动范围的最简单措施是采用冲击原理,冲击驱动是实现跨尺度精密定位操作技术的典型驱动方式。通过将电信号输入定子,使得受到激励的定子产生一定轨迹的机械运动,最终驱动动子运动。研究学者通常采用压电驱动器和柔性铰链的定子来冲击驱动动子实现跨尺度精密运动,该类平台具有结构紧凑、控制方便等优点,但设计中都采用定子侧面与动子接触,只能实现单自由度的运动,而多自由度运动将面临摩擦力耦合、预压力施加方式等问题。因此,需要结合微动平台和冲击驱动设计一种紧凑结构实现多自由度跨尺度精密运动,提升压电精密定位平台在STM、AFM等显微系统中的应用效果。   为了解决以上问题,三英精控开发的一系列的纳米微位移台,具有结构紧凑、控制方便、位移分辨率高、运动行程大、响应速度快等优点。 根据机械结构构造形式,纳米位移台可以分为串联和并联两种。串联冲击式多自由度压电驱动机构通过将多个单自由度的机构进行模块化的组合,能够快速实现多自由度运动并且便于控制,而并联冲击式压电驱动机构所有自由度运动集合于同一个运动部件使得结构更紧凑。 三英精控还可以根据不同需求来进行定制,如有需求,欢迎来电咨询。咨询热线:18526695114  
查看详情




随着微纳科技的迅猛发展,具有微米运动范围及微/纳米级定位精度的精密定位平台及相关技术己被广泛应用于微系统工程、生物工程、医学工程、光学制造、航空航天等重要科学工程领域。但目前具有亚微米级以上位移分辨率,毫米级以上运动行程的跨尺度精密定位技术成为微纳驱动控制领域的研究热点和难点。跨尺度精密定位技术在纳米操作、大规模集成电路制造和生物技术等众多领域都有着广泛的应用前景。



 



在微纳米操作领域中,由于微纳米操作对象的尺度特征微小,通常需借助STM、AFM等显微系统实现对对象的观察、识别和操作。往往需要在STM、AFM等狭小空间内安装精密定位平台,因此操作中用于操作对象调整的精密定位平台不仅要求具有微/纳米级的定位精度和毫米级的运动行程,且对定位平台本身的尺寸和体积提出了更高要求。





传统的驱动器由于其结构和工作原理的限制,己不能满足众多微型操控系统对微/纳米精度及微小尺寸的需求。但是随着智能材料技术迅猛发展,科研人员致力于研究基于智能材料的新型精密驱动器,由于突出的综合性能,压电陶瓷驱动器成为微纳驱动控制领域中应用最广泛的驱动元件。压电驱动器利用压电材料的逆压电效应,将电能转换为机械能,实现可控的精密驱动。压电驱动器具有体积小、重量轻、精度高、响应快、控制特性好、能量密度大、能耗低、不受磁场干扰等特点,得到了广大研究人员的青睐。





目前应用最多的是基于压电驱动器和柔性铰链的微动平台,该类平台具有结构紧凑、位移分辨率高等优点,但问题在于即使采用位移放大机构,平台的运动范围仍难以达到毫米级,限制了此类微动平台的应用。进一步提高运动范围的最简单措施是采用冲击原理,冲击驱动是实现跨尺度精密定位操作技术的典型驱动方式。通过将电信号输入定子,使得受到激励的定子产生一定轨迹的机械运动,最终驱动动子运动。研究学者通常采用压电驱动器和柔性铰链的定子来冲击驱动动子实现跨尺度精密运动,该类平台具有结构紧凑、控制方便等优点,但设计中都采用定子侧面与动子接触,只能实现单自由度的运动,而多自由度运动将面临摩擦力耦合、预压力施加方式等问题。因此,需要结合微动平台和冲击驱动设计一种紧凑结构实现多自由度跨尺度精密运动,提升压电精密定位平台在STM、AFM等显微系统中的应用效果。



 



为了解决以上问题,三英精控开发的一系列的纳米微位移台,具有结构紧凑、控制方便、位移分辨率高、运动行程大、响应速度快等优点。

根据机械结构构造形式,纳米位移台可以分为串联和并联两种。串联冲击式多自由度压电驱动机构通过将多个单自由度的机构进行模块化的组合,能够快速实现多自由度运动并且便于控制,而并联冲击式压电驱动机构所有自由度运动集合于同一个运动部件使得结构更紧凑。



三英精控还可以根据不同需求来进行定制,如有需求,欢迎来电咨询。咨询热线:18526695114



 




【三英科普】三分钟带你了解超精密运动控制技术
【三英科普】三分钟带你了解超精密运动控制技术
什么是超精密运动控制技术? 超精密运动控制技术是一门集精密机械、精密控制、精密驱动、精密传感、精密测量、精密集成技术于一体,实现在纳米精度范围内的运动控制的综合技术,也是三英精控最主要的核心技术。   该技术有什么创新点?能为客户创造什么价值? 公司技术创新点体现在四个方面:一是超精密运动控制平台机构设计方法;二是超精密伺服先进控制算法;三是核心部件的研发;四是系统标定与误差补偿技术。 在技术成熟性论证方面:针对纳米材料、半导体产业、生命科学、精密制造、计量测试技术等领域的需求,攻克了设计与制造、组装与校准等难点问题,突破了纳米位移台有限元优化设计、高精度位移传感器、制造组装工艺、高级控制算法、搭建测试校准平台等关键技术,整体技术指标达到国际先进水平,个别技术指标达到国际领先水平。该技术成果已通过了中国计量科学研究院的验证;公司牵头承担了两项国家科技部项目,其中一项已圆满完成,得到科技部的认可和高度评价。 在应用方面:半导体全产业链的加工、检测设备;LCD/LED及其它显示器制造设备;激光加工设备;生物医学显微镜和操作仪器;卫星激光通讯核心器件;广泛应用于各类精密机床、航空航天以及国防军工业等。 在竞争力方面:公司的核心技术路线符合“中国制造2025”规划的发展方向,是国产替代的关键点之一。并且公司参与制定了两个国家标准:GB/T 38616-2020《纳米定位与扫描平台术语》和GB/T38614-2020《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》。均已于2020年11月实施。   三英精控相关产品 公司基于超精密运动控制技术开发的产品有:纳米位移定位平台系列产品、纳米位移电容传感器系列产品、纳米摆角台系列等。 还可以根据不同需求来进行定制,如有需求,欢迎来电咨询。咨询热线:18526695114
查看详情




什么是超精密运动控制技术?







超精密运动控制技术是一门集精密机械、精密控制、精密驱动、精密传感、精密测量、精密集成技术于一体,实现在纳米精度范围内的运动控制的综合技术,也是三英精控最主要的核心技术。



 







该技术有什么创新点?能为客户创造什么价值?







公司技术创新点体现在四个方面:一是超精密运动控制平台机构设计方法;二是超精密伺服先进控制算法;三是核心部件的研发;四是系统标定与误差补偿技术。

在技术成熟性论证方面:针对纳米材料、半导体产业、生命科学、精密制造、计量测试技术等领域的需求,攻克了设计与制造、组装与校准等难点问题,突破了纳米位移台有限元优化设计、高精度位移传感器、制造组装工艺、高级控制算法、搭建测试校准平台等关键技术,整体技术指标达到国际先进水平,个别技术指标达到国际领先水平。该技术成果已通过了中国计量科学研究院的验证;公司牵头承担了两项国家科技部项目,其中一项已圆满完成,得到科技部的认可和高度评价。



在应用方面:半导体全产业链的加工、检测设备;LCD/LED及其它显示器制造设备;激光加工设备;生物医学显微镜和操作仪器;卫星激光通讯核心器件;广泛应用于各类精密机床、航空航天以及国防军工业等。



在竞争力方面:公司的核心技术路线符合“中国制造2025”规划的发展方向,是国产替代的关键点之一。并且公司参与制定了两个国家标准:GB/T 38616-2020《纳米定位与扫描平台术语》和GB/T38614-2020《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》。均已于2020年11月实施。



 







三英精控相关产品







公司基于超精密运动控制技术开发的产品有:纳米位移定位平台系列产品、纳米位移电容传感器系列产品、纳米摆角台系列等。


还可以根据不同需求来进行定制,如有需求,欢迎来电咨询。咨询热线:18526695114



压电纳米定位台在光纤端面检测方面的应用
压电纳米定位台在光纤端面检测方面的应用
压电纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。
查看详情
压电纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。
【三英科普】常用高精度位移传感器的种类与应用
【三英科普】常用高精度位移传感器的种类与应用
【应用案例】三英精控自主研发新型纳米位移台已应用于晶圆对准系统
【应用案例】三英精控自主研发新型纳米位移台已应用于晶圆对准系统
圆晶对准系统 晶圆对准系统是IC制造工艺中不可或缺的装备。它是一个包含机械、电子、光学、计算机等多学科、高科技产品,其目的是在硅晶圆被传送到曝光台之前,对硅晶圆进行定位处理。对准的定位精度决定硅晶圆是否准确的落入曝光台的视野之内,从而影响整个系统的效率和成品率。 因此三英精控开发了新的纳米位移台产品,能很好的用于晶圆的位置调整,达到晶圆对准的目的。   三英精控新型纳米位移台 该纳米位移台不仅能实现X、Y方向上的移动,同时可以实现旋转运动。该运动平台的精度对晶圆最终的光刻有重要的影响。因此对运动形式和运动精度提出了很高的要求。三英已将该设备成功应用于晶圆对准的装备中了。   三英精控其他纳米位移台 三英精控还可以根据不同需求来进行定制,如有需求,欢迎来电咨询。咨询热线:18526695114
查看详情




圆晶对准系统







晶圆对准系统是IC制造工艺中不可或缺的装备。它是一个包含机械、电子、光学、计算机等多学科、高科技产品,其目的是在硅晶圆被传送到曝光台之前,对硅晶圆进行定位处理。对准的定位精度决定硅晶圆是否准确的落入曝光台的视野之内,从而影响整个系统的效率和成品率。



因此三英精控开发了新的纳米位移台产品,能很好的用于晶圆的位置调整,达到晶圆对准的目的。











 

三英精控新型纳米位移台







该纳米位移台不仅能实现X、Y方向上的移动,同时可以实现旋转运动。该运动平台的精度对晶圆最终的光刻有重要的影响。因此对运动形式和运动精度提出了很高的要求。三英已将该设备成功应用于晶圆对准的装备中了。

 







三英精控其他纳米位移台







三英精控还可以根据不同需求来进行定制,如有需求,欢迎来电咨询。咨询热线:18526695114


高速偏摆镜在军事领域的应用——高能激光武器
高速偏摆镜在军事领域的应用——高能激光武器
关于激光武器 激光武器主要指高功率强激光武器,它是一种定向能武器,利用强大的定向发射的激光束直接毁伤目标或使之失效。它是利用高亮度强激光束携带的巨大能量摧毁或杀伤敌方飞机、导弹、卫星和人员等目标的高技术新概念武器。 可用于多种军事任务,如重要固定目标保护、地面机动部队、舰船和飞机的保护,以及对有人机和无人机的精确打击。 激光武器的优势特点 激光武器作用的面积很小,但破坏在目标的关键部位上,可造成目标的毁灭性破坏。激光武器的突出优点是反应时间短,可拦击突然发现的低空目标。 用激光拦击多目标时,能迅速变换射击对象,灵活地对付多个目标。激光发射系统属精密光学系统,激光武器不存在多次发射的寿命问题。 激光以光速射击,敌方目标难以躲避。激光发射时保持静默,肉眼看不见,使武器系统的操作者在作战过程中能够很好地隐藏自己。 快反镜在激光武器中的应用 激光武器要求将激光束精确锁定在目标的某一区域,持续照射一定时间,才能将目标摧毁。快反镜响应速度快,控制精度高,常用来和传统的伺服框架构成粗—精复合系统来精确控制光束方向。  
查看详情






关于激光武器









激光武器主要指高功率强激光武器,它是一种定向能武器,利用强大的定向发射的激光束直接毁伤目标或使之失效。它是利用高亮度强激光束携带的巨大能量摧毁或杀伤敌方飞机、导弹、卫星和人员等目标的高技术新概念武器。

可用于多种军事任务,如重要固定目标保护、地面机动部队、舰船和飞机的保护,以及对有人机和无人机的精确打击。













激光武器的优势特点









激光武器作用的面积很小,但破坏在目标的关键部位上,可造成目标的毁灭性破坏。激光武器的突出优点是反应时间短,可拦击突然发现的低空目标。

用激光拦击多目标时,能迅速变换射击对象,灵活地对付多个目标。激光发射系统属精密光学系统,激光武器不存在多次发射的寿命问题。

激光以光速射击,敌方目标难以躲避。激光发射时保持静默,肉眼看不见,使武器系统的操作者在作战过程中能够很好地隐藏自己。













快反镜在激光武器中的应用









激光武器要求将激光束精确锁定在目标的某一区域,持续照射一定时间,才能将目标摧毁。快反镜响应速度快,控制精度高,常用来和传统的伺服框架构成粗—精复合系统来精确控制光束方向。

 




上一页
1
2
...
7
底部logo
这是描述信息

微信公众号

这是描述信息

移动端网站

三英精控(天津)仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发,并致力于为科学研究、创新研发及高端仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成,满足市场对精密运动控制技术需求的专业制造商。

总部地址:天津市武清开发区福源道北侧创业总部基地C21号楼

上海办公室:上海市浦东新区高科东路777弄11号1603室

北京办公室:北京市海淀区马甸东路金澳国际公寓楼2232

深圳办公室:深圳市龙华区大浪华兴路1号A201

客服邮箱:sales@symc-tec.com

客服热线:022-29516025

Copyright©2019三英精控(天津)仪器设备有限公司 页面版权所有

津ICP备19010059号  公安备案:12011402000869