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气浮平台工作原理及应用方向
气浮平台工作原理及应用方向
发布时间 : 2022-09-29 09:25:42
气浮平台✦ 在科研和工业应用场景中,气浮平台已经被广泛使用。气浮平台的核心工作原理是基于气体动静压效应,利用气浮轴承和电控元件构成了精密的位移平台,让承载面浮在气浮导轨或轴承上,实现无摩擦,无抖动的平滑运动。 工作原理✦ 气浮平台的结构由气浮导轨(含承载面),直线电机和光栅尺等主要部件组成。通过气管将干净,无水无油的压缩空气输入到承载面与气浮导轨之间的气模间隙,气体在气模间隙内流动,让承载面在气浮导轨上浮起来。气体起到了润滑剂的作用,实现无摩擦运动。 常见的气浮直线导轨有如下形式: a) 重力平衡式气浮导轨 b) 闭式气浮导轨 c) 永磁预载式气浮导轨 d) 真空吸附式气浮导轨 常见的气浮孔结构为: a)小孔节流结构 b) 多孔质结构 应用领域✦ 传统的以旋转和滚珠丝杠驱动的定位精密平台存在着传动环节多、响应滞后大、存在摩擦、精度差等缺点,而气浮轴承与电磁直驱结合的气浮定位平台则克服了以上的缺点。气浮平台在半导体、光刻设备、航空航天、3D加工、精密车辆和生物医学等众多领域中具有十分广泛的被应用。 三英精控气浮平台✦ 三英精控在运动控制上有着丰富的制造经验,为客户提供了一款超大行程的高精度气浮运动台。 行程:6500mm;相对定位精度:±0.5μm;最大速度:100mm/s 直线度:±10μm;偏摆:±1.5arc sec;俯仰:±1.5arc sec ETSA-300气浮平台 特点:通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触,提高平台机构运动精度、表面平滑、微小偏差(俯仰,偏摆等)、性能稳定、没有机械损耗、“零”摩擦可使其进入纳米级应用。 使用场所:精密加工、精密测量、微电子制造业、光刻机平台、半导体加工业、扫描。 气浮旋转台系列 三英精控从用户的需求,综合考虑精度要求、负载大小、承载面尺寸、工作速度、加速度、动作路径及多轴整合等需求来设定方案,为客户提供高性价比的气浮平台。 更多产品信息及行业资讯,请持续关注三英精控或来电咨询。 咨询热线:18526695114
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气浮平台✦










在科研和工业应用场景中,气浮平台已经被广泛使用。气浮平台的核心工作原理是基于气体动静压效应,利用气浮轴承和电控元件构成了精密的位移平台,让承载面浮在气浮导轨或轴承上,实现无摩擦,无抖动的平滑运动。










工作原理✦










气浮平台的结构由气浮导轨(含承载面),直线电机和光栅尺等主要部件组成。通过气管将干净,无水无油的压缩空气输入到承载面与气浮导轨之间的气模间隙,气体在气模间隙内流动,让承载面在气浮导轨上浮起来。气体起到了润滑剂的作用,实现无摩擦运动。

常见的气浮直线导轨有如下形式:

a) 重力平衡式气浮导轨

b) 闭式气浮导轨

c) 永磁预载式气浮导轨

d) 真空吸附式气浮导轨

常见的气浮孔结构为:

a)小孔节流结构

b) 多孔质结构










应用领域✦










传统的以旋转和滚珠丝杠驱动的定位精密平台存在着传动环节多、响应滞后大、存在摩擦、精度差等缺点,而气浮轴承与电磁直驱结合的气浮定位平台则克服了以上的缺点。气浮平台在半导体、光刻设备、航空航天、3D加工、精密车辆和生物医学等众多领域中具有十分广泛的被应用。










三英精控气浮平台✦










三英精控在运动控制上有着丰富的制造经验,为客户提供了一款超大行程的高精度气浮运动台。







行程:6500mm;相对定位精度:±0.5μm;最大速度:100mm/s

直线度:±10μm;偏摆:±1.5arc sec;俯仰:±1.5arc sec







ETSA-300气浮平台











特点:通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触,提高平台机构运动精度、表面平滑、微小偏差(俯仰,偏摆等)、性能稳定、没有机械损耗、“零”摩擦可使其进入纳米级应用。

使用场所:精密加工、精密测量、微电子制造业、光刻机平台、半导体加工业、扫描。







气浮旋转台系列











三英精控从用户的需求,综合考虑精度要求、负载大小、承载面尺寸、工作速度、加速度、动作路径及多轴整合等需求来设定方案,为客户提供高性价比的气浮平台。

更多产品信息及行业资讯,请持续关注三英精控或来电咨询。

咨询热线:18526695114



纳米技术在MEMS领域的应用——纳米硬度计
纳米技术在MEMS领域的应用——纳米硬度计
纳米位移台的工作原理及典型应用
纳米位移台的工作原理及典型应用
发布时间 : 2022-09-22 15:35:20
纳米位移台选用低压叠层压电陶瓷块作为驱动器,压电陶瓷材料在电场的作用下膨胀产生驱动力或驱动位移。理论上讲,压电陶瓷驱动器的驱动输出的分辨率是无限的,只取决于驱动电压的噪声水平,因此三英精控经过不断优化设计出了输出电压噪声低并保证一定的输出功率的驱动系统。同时采用位移传感器作为反馈来进一步提升控制系统的分辨率和精度。本公司纳米位移台的分辨率可高达0.1nm。
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纳米位移台选用低压叠层压电陶瓷块作为驱动器,压电陶瓷材料在电场的作用下膨胀产生驱动力或驱动位移。理论上讲,压电陶瓷驱动器的驱动输出的分辨率是无限的,只取决于驱动电压的噪声水平,因此三英精控经过不断优化设计出了输出电压噪声低并保证一定的输出功率的驱动系统。同时采用位移传感器作为反馈来进一步提升控制系统的分辨率和精度。本公司纳米位移台的分辨率可高达0.1nm。
纳米位移电容传感器的工作原理及典型应用
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【三英小科普】三分钟快速了解高速偏摆镜
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