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压电纳米定位台的工作原理及典型应用

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  • 发布时间:2023-05-31 14:59
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压电纳米定位台的工作原理及典型应用

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压电纳米位移台的工作原理

压电纳米位移台主要采用超精密运动控制技术,超精密运动控制技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。

内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动,其产生单轴或者多轴的运动;通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统,再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制;在对运动系统进行闭环控制时,可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。

压电纳米位移台的结构

压电纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。

压电纳米定位台的特点

压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化的结构设计。机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现高精度位移,定位精度可达纳米级。具有超高的导向精度,有高刚性、高负载、无摩擦等特点。

压电纳米位移台典型应用

压电纳米位移台在基础科研市场,半导体市场,先进制造业,生物医药行业,光学、通信等行业都能够被广泛应用。尤其随着国家政策对半导体行业的大力扶持,在半导体精密加工,芯片制造,5G 通讯等具体应用场景,压电纳米位移台的市场需求得到进一步扩充,市场前景更广阔。

此外,压电纳米定位台还可用于:

※ 光路调整;

※ 纳米操控技术;

※ 纳米光刻,生物科技;

※ 激光干涉;

※ CCD图像处理;

※ 纳米测量、显微操作;

※ 纳米压印、纳米定位;

※ 显微成像,共焦显微。

三英精控相关产品

三英精控近年来从解耦控制、反馈控制、前馈控制、协同控制等多个方面深耕超精密运动台控制相关研究,并不断进步持续获得进展和突破。

三英精控高精度运动控制平台定位精度已达到纳米级,性能稳定。

为了贴合不同领域的应用需求,三英精控还可以根据不同需求来进行定制,具有很高的灵活性,操作简便,满足不同应用场合。更多产品信息,请持续关注三英精控微信公众平台或来电咨询。

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