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白光干涉仪

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白光干涉仪的主要功能: 观察、分析、应用

特点:

1 、非接触式测量:避免物件受损。

2 、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm

3 、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。

4 、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm

5 、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。

6 、扫描仪:闭环控制系统。

7 、工作台:气动装置、抗震、抗压。

8 、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。

应用领域:

半导体晶片、液晶产品(CS,LGP,BIU)、微机电系统、光纤产品、数据存储盘(HDD,DVD,CD)、材料研究、精密加工表面、生物医学工程。

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测量数据表明,系统的Z向测量重复性 优于1nm

测量数据表明,系统的水平测量分辨率优于200nm;

扫描平台的实际漂移量,主要表现在Y方向,且再预热10分钟后每10分钟漂移平均漂移速率低于2nm/min。

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