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原子力显微镜

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用于用户自制的原子力显微镜系统

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产品名称

原子力显微镜

组成

MTSH-25-135-2

行程:25x25mm

台面尺寸:135x135mm

整体厚度:48.5mm

负载:20KG

驱动方式:分厘卡

MTSS-13-3

行程:13mm

驱动方式:分厘卡

调整轴数:X/Y/Z

最小读数:0.01mm

 

EVSP45TD

行程:45mm

丝杠导程:2 mm

导轨:超精密级交叉滚子导轨

最大速度:10mm/s

分辨率:0.1um

双向重复定位:±0.3um

直线度、平坦度:±2um

偏摆:±10arcsec

 

DZNS-XY50Z10

运动轴 X/Y/Z  

闭环行程:50/50/10μm

闭环分辨率:0.1/0.1/0.1nm

负载: ≥230g  

谐振频率(带负载):≥300Hz

 

 

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