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NS-RBX4Y6-01 二维高速偏摆镜

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纳米偏摆镜
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典型应用:

激光加工

激光瞄准

远距离通讯

光学对准

 

高速偏摆镜采用压电陶瓷驱动,内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,采用有限方针分析优化柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。高速偏摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了高速偏摆镜具有极佳的运动控制精度,定位精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,紧凑型设计,可以更好的集成于光学系统。

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型号

NS-RB2-01

运动轴

θxθy(Tip/Tilt)

传感器类型

电容式

闭环行程

θx:4     θy:6 mrad

闭环分辨率

0.08 μrad

线性度

0.2 %

无负载谐振频率

1000 Hz

带负载谐振频率(负载重量200g

500Hz

驱动电压

-30~+150V

电缆长度

2m

连接器类型

D-sub15

位移台材料

铟钢或航空铝

最大负载

5 Inch Mirror

体积

130×130×94.5mm

 


 

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