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NS-RBX4Y6-01 二维高速偏摆镜

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纳米偏摆镜
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典型应用:激光加工、激光瞄准、远距离通讯、光学对准。

高速偏摆镜采用压电陶瓷驱动,内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,采用有限方针分析优化柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。高速偏摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了高速偏摆镜具有极佳的运动控制精度,定位精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,紧凑型设计,可以更好的集成于光学系统。

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型号

NS-RBX4Y6-01

运动轴

θxθy(Tip/Tilt)

传感器类型

电容式

闭环行程( mrad )

θx:4  θy:6

闭环分辨率( μrad )

0.08

线性度( % )

0.2

无负载下谐振频率( Hz )

1000

带负载谐振频率( Hz )( 200g )

500

端口

D-sub15

材料

D-sub15 铟钢(航空铝可选)

最大负载

Φ127×15mm Mirror ( 500g ) 2.3

自重( kg )

2.3

尺寸( mm )

130 × 130× 94.5

注:闭环分辨率与带宽有关。

 

NS-RBX4Y6-01尺寸图

 

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