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【新品速递】ABLS-300气浮平台
- 分类：公司新闻
- 作者：
- 来源：
- 发布时间：2020-06-24 15:57
- 访问量：
【概要描述】气浮平台超精密机械中的一种典型结构，通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触，提高平台机构运动精度，具有非常优秀的平面度、直线度...
【新品速递】ABLS-300气浮平台
【概要描述】气浮平台超精密机械中的一种典型结构，通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触，提高平台机构运动精度，具有非常优秀的平面度、直线度...
- 分类：公司新闻
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- 发布时间：2020-06-24 15:57
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气浮平台超精密机械中的一种典型结构，通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触，提高平台机构运动精度，具有非常优秀的平面度、直线度，克服了传统机械定位台行程短，响应滞后大，摩擦阻力等不足。具有非常优秀的动态性能及极低的误差水平。
产品介绍
三英精控凭借多年的精密机械加工及装配经验，采用最优参数及合理的精度分配，掌握了气浮平台从设计到制造的全套技术，成功设计研发出多款气浮平台。ABLS-300气浮平台实现了长行程高精度与高速定位功能，在半导体光刻设备，精密测量和生物医学等领域中具有不可替代的作用。
应用领域
精密加工
精密测量
微电子制造业
光刻机平台
半导体加工业
扫描
产品特性
◆ 重复定位精度高
◆ 俯仰偏摆角度小
◆ 性能稳定
◆ 没有机械损耗
◆ “零”摩擦可使其进入纳米级应用
◆ 运动台与导轨使用同种材料，在温度变化较大的工况下不会出现气浮台常见的“抱死”现象。
技术参数
|
名称 |
ABLS-300气浮平台 |
|
行程 |
300mm |
|
驱动方式 |
直线电机 |
|
电机连续/峰值推力 |
100N/400N |
|
反馈方式 |
光栅反馈系统 |
|
反馈系统分辨率 |
25nm |
|
最大速度 |
700mm/s |
|
最大加速度（空载） |
1g（无负载） |
|
最大负载 |
25kg |
|
精度 |
±1μm |
|
重复定位精度 |
±0.2μm |
|
直线度 |
±0.5μm |
|
平坦度 |
±0.5μm |
|
动态平坦度 |
±0.5μm |
|
偏摆 |
3 arc-sec
|
|
俯仰 |
3 arc-sec |
|
工作压力 |
4±0.3bar |
三英精控ABLS-300气浮平台将首次亮相于7月3至5日在国家会展中心举行的慕尼黑上海光博会。真挚的期待您和同事及行业友人共同参与，在展会现场与三英精控面对面共话行业热点。
三英精控展位号：7.1A327
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【概要描述】气浮平台超精密机械中的一种典型结构，通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触，提高平台机构运动精度，具有非常优秀的平面度、直线度...
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气浮平台超精密机械中的一种典型结构，通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触，提高平台机构运动精度，具有非常优秀的平面度、直线度，克服了传统机械定位台行程短，响应滞后大，摩擦阻力等不足。具有非常优秀的动态性能及极低的误差水平。
产品介绍
三英精控凭借多年的精密机械加工及装配经验，采用最优参数及合理的精度分配，掌握了气浮平台从设计到制造的全套技术，成功设计研发出多款气浮平台。ABLS-300气浮平台实现了长行程高精度与高速定位功能，在半导体光刻设备，精密测量和生物医学等领域中具有不可替代的作用。
应用领域
精密加工
精密测量
微电子制造业
光刻机平台
半导体加工业
扫描
产品特性
◆ 重复定位精度高
◆ 俯仰偏摆角度小
◆ 性能稳定
◆ 没有机械损耗
◆ “零”摩擦可使其进入纳米级应用
◆ 运动台与导轨使用同种材料，在温度变化较大的工况下不会出现气浮台常见的“抱死”现象。
技术参数
|
名称 |
ABLS-300气浮平台 |
|
行程 |
300mm |
|
驱动方式 |
直线电机 |
|
电机连续/峰值推力 |
100N/400N |
|
反馈方式 |
光栅反馈系统 |
|
反馈系统分辨率 |
25nm |
|
最大速度 |
700mm/s |
|
最大加速度（空载） |
1g（无负载） |
|
最大负载 |
25kg |
|
精度 |
±1μm |
|
重复定位精度 |
±0.2μm |
|
直线度 |
±0.5μm |
|
平坦度 |
±0.5μm |
|
动态平坦度 |
±0.5μm |
|
偏摆 |
3 arc-sec
|
|
俯仰 |
3 arc-sec |
|
工作压力 |
4±0.3bar |
三英精控ABLS-300气浮平台将首次亮相于7月3至5日在国家会展中心举行的慕尼黑上海光博会。真挚的期待您和同事及行业友人共同参与，在展会现场与三英精控面对面共话行业热点。
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三英精控（天津）仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发，并致力于为科学研究、创新研发及高端仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成，满足市场对精密运动控制技术需求的专业制造商。
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