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NS-XY100-01 XY二维纳米定位平台
NS-XY100-01是一款高精度二维纳米定位平台，提供集成的XY两维运动控制。闭环行程可达100x100μm，闭环分辨率 0.5/0.5nm。
典型应用
• 显微成像 • 光学对准 • 表面检测
• 半导体加工 • 高密度存储
关键词:
光学对准平台
高精度位移平台
电控位移台
纳米位移平台
二维运动台
滑台
柔性铰链平台
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