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NS-Z700-01 超大行程Z轴物镜定位平台
NS-Z700-01是一款Z轴方向的物镜运动台，闭环行程700μm，闭环分辨率5nm。可更换不同的物镜接口，用于物镜调焦及扫描。
典型应用
• 晶圆切割
• 物镜调焦及扫描
• 显微成像
• 微电子精密加工
关键词:
位移
纳米
控制器
系统
传感器
运动
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NS-Z25-02Z轴纳米定位台
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NS-Z700-01.x_t
大小：2024-03-28 09:12:35
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