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NS-Z25-01柱状Z轴纳米定位台
NS-Z25-01是一款柱状Z轴方向的运动台,闭环行程25μm,可提供0.1nm的闭环分辨率。
典型应用
• 显微成像 • 激光领域
• 光学移相 • 半导体加工
• 光学对准 • 光栅刻写
• 生物材料分析 • 测量
关键词:
柱状Z轴纳米定位台
Z轴位移台
纳米控制运动系统
滑台
平移台
纳米定位平台
压电平台
压电陶瓷
柔性铰链
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