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NS-X20-01X轴纳米定位台
NS-X20-01是一款X轴方向的运动台,采用压电陶瓷作为驱动,超精密电容传感器提供反馈,可提供高达0.1nm的闭环分辨率。
典型应用:
• 显微成像
• 激光加工
• 光学移相
• 光栅刻写
• 光学对准
• 晶圆检测
如有客户需求,三英可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制,以提供及时、满意的技术支持与服务。
纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台 超低温纳米定位台
关键词:
纳米位移台
高精度位移台
精密控制
滑台
平移台
纳米定位平台
电控位移台
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NS-Z25-02Z轴纳米定位台
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