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PPS-110是一款高精度,高负载,长行程的位移平台。这款位移平台可选择压电电机,直线电机和步进电机驱动。在负载高达25Kg时滚珠导轨可保持运动平滑和高导向精度。采用高精度数字光栅尺时闭环分辨率可达2nm。
关键特性
• 行程可达1000mm
• 闭环分辨率2nm
• 超薄,40mm高
• 负载可达25Kg
• 滚珠导轨
• 可提供真空版本
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PPS-60 高精度压电位移平台
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