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ASO-ZTT-3W高精度晶圆调整平台
AS0-ZTT-3W高精度晶圆调整平台负载5kg。台面为真空吸盘,可吸附4~12寸晶圆,共包括Z和RxRyRz 4轴空间调节。
典型应用
• 精密加工 • 微电子制造业
• 半导体加工 • 精密测量
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