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ASO-ZTT-2W高精度晶圆调整平台

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ASO-ZTT-2W高精度晶圆调整平台

ASO-ZTT-2W采用3点独立支撑结构,光栅尺闭 环控制,实现Z和RxRy3轴高精度调整,特有解 耦结构设计,尽可能避免调整过程中三轴的串 扰,提高调整精度,工作台面即为真空吸盘, 平面度3μm,可吸附4~10寸晶圆等工件。

应用场景
• 精密加工         • 微电子制造业
• 半导体加工      • 精密测量

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