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ASO-X350Y500系列高精度龙门双驱二维气浮平台
ASO系列的共面气浮结构平台主体结构材质均采用大理石，膨胀系数小，更有利于保证系统的整体精度。两轴均采用无铁芯的直线电机作为驱动，控制上通过ACS控制器内部交叉解耦控制算法保证双驱轴的运动同步。反馈系统上可以根据实际需要采用增量、sin/cos以及绝对值的反馈方式，可以更好的适用于多种场合。气浮导轨具有固有平均效应，可以极大限度的提高性能，可以有效的保证较高的重复性，俯仰偏摆以及直线度等指标。
特点
• 所有轴均采用真空预载
• 采用共面气浮的结构
• 高速，高响应的整定时间
• Y轴双气导轨整体研磨成型
典型应用
ASO龙门气浮非常适用于高精度应用，精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。由于运动无摩擦，不会形成颗粒，ASO气浮平台非常适用于无尘室应用。
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ETSA高精度气浮平台系列
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