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一个典型的电容式位移传感器测量系统主要由两大部分组成：
1.测头
• 与被测物体(必须是导体或表面金属化)构成一个可变电容器
• 距离的变化直接引起测头与被测物之间电容的变化
2.控制器
• 提供稳定激励源
• 实现精密的电容-电压转换
• 输出标准模拟信号(电压或电流)和数字信号(如RS422、USB、以太网等)，供数据采集卡、PLC或计算机使用。
科研级纳米电容位移传感器（模拟输出）
• 在分辨率要求极高的科研应用场景中，例如半导体硅片的厚度检测、纳米定位系统的精密伺服反馈等，推荐选用科研级电容位移传感器。此类传感器能够提供亚纳米级别的超高分辨率，其性能相较于工业级产品可实现数量级上的显著提升，能够满足前沿科学研究对测量精度的极致要求
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工业级纳米电容位移传感器测量系统
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