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NNS-XY100RZ2-01 高精度三维纳米定位平台
NNS-XY100RZ2-01是一款集成平移和旋转的高精度纳米运动台。电容传感器全闭环控制,精度高,结构紧凑。大通孔设计,阳极氧化黑工艺,满足多场景应用。
典型应用
• 显微成像 • 激光加工
• 表面检测 • 半导体加工
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