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NNS-Z50-01 Z轴纳米定位平台
NNS-Z50-01是一款Z轴方向的运动台,闭环行程50μm,可提供0.5nm的闭环分辨率。具有大负载,高谐振频率,高带宽的特性。采用表面阳极氧化黑工艺,满足光学类应用。可用于侧挂式应用。
典型应用
• 显微成像 • 光学计量
• 激光加工 • 高精度自动对焦
• 物镜转塔调整及扫描
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