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NNS-X60-01 X轴纳米定位平台
NNS-X60-01是一款X轴方向的运动台,闭环行程60μm,可提供0.5nm的闭环分辨率。采用表面阳极氧化黑工艺。
典型应用
• 显微成像 • 激光加工
• 光学移相 • 光栅刻写
• 光学对准 • 晶圆检测
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