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NNS-X60-01 X轴纳米定位平台

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NNS-X60-01 X轴纳米定位平台

NNS-X60-01是一款X轴方向的运动台,闭环行程60μm,可提供0.5nm的闭环分辨率。采用表面阳极氧化黑工艺。

 

典型应用
• 显微成像         • 激光加工
• 光学移相         • 光栅刻写
• 光学对准         • 晶圆检测

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