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NS-XY400Z100-01 超大行程XYZ三维纳米定位平台
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产品编号
NS-XY400Z100-01
所属分类
三维纳米台
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1
产品描述
产品规格
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NS-XY400Z100-01 超大行程XYZ三维纳米定位平台
NS-XY400Z100-01是一款高精度超大行程三维纳米定位平台,闭环行程可达400/400/100μm,闭环分辨率 1.5/1.5/0.5nm。
典型应用
• 显微成像 • 激光加工
• 半导体检测 • 超分辨率成像
• 大样品AFM/SPM/SNOM
关键词:
大行程纳米位移台
三维定位平台
纳米位移平台
压电陶瓷平台
压电电控平台
电控位移台
滑台
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