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NS-XY100Z15-01 重载XYZ三维纳米定位平台

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产品编号
NS-XY100Z15-01
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三维纳米台
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产品描述
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NS-XY100Z15-01 重载XYZ三维纳米定位平台

NS-XY100Z15-02是一款高精度大负载三维纳米定位平台,负载可达5kg。闭环行程可达100/100/15μm,闭环分辨率 0.5/0.5/0.1nm。


典型应用

• 激光加工          • 显微成像
• 表面检测          • 光学测量

• 半导体加工

 

关键词:
压电定位台
高精度位移台
亚纳米级定位平台
压电陶瓷平台
柔性铰链
三维移动平台
滑台
位移台
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