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NS-XY100Z20-01 XYZ三维纳米定位平台
NS-XY100Z20-01是一款高精度三维纳米定位平台,负载1kg。闭环行程可达100/100/20μm,闭环分辨率0.5/0.5/0.1nm。
典型应用
• 显微成像 • 光学测量
• 光学存储 • 表面分析
• 光学对准
关键词:
压电定位台
纳米位移台
高精度位移台
电控滑台
三维平移台
压电陶瓷平台
柔性铰链
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