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NS-XY200-01 XY二维纳米定位平台
NS-XY200-01是一款高精度二维纳米定位平台。闭环行程可达 200x200μm，闭环分辨率0.8/0.8nm。
典型应用
• 显微成像 • 半导体加工
• 光学对准 • 表面检测
• 高密度存储
关键词:
高精度位移台
电控位移台
XY二维平移台
压电平台
纳米位移平台
运动控制系统
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