纳米位移台作为微观领域内常用的机械机构，已经有了一套成熟系统。其中主要包括驱动控制机构、导向机构和检测装置。之前带大家了解了驱动控制机构（回顾戳这里→纳米位移台的主要组成部分及其分类（一）），今天就带大家了解一下几类导向机构。

微位移导向机构用来传递驱动器的运动和力，保证运动平台能按照一定的自由度产生所需的位移，包括支撑结构与放大机构。常用的微位移导向机构有以下几种：

滑动导轨是一种支撑件和运动间直接接触、作滑动摩擦运动的普通导轨。滑动导轨的优点是结构简单、使用维护方便；缺点是未形成完全液体摩擦时低速易爬行、磨损大、寿命短、运动精度不稳定。一般较少在微纳定位系统中使用。

滚动导轨是在两导轨面间放入滚针、滚珠和滚柱等滚动体，靠滚动摩擦进行运动。滚动导轨的优点是摩擦阻力较小，导轨运动灵敏，行程大、工艺学好，定位精度较高，可达微米量级；缺点是点线接触，接触应力大，对污物比较敏感，需要很好的防护，其结构比滑动导轨复杂，制造成本高。

气浮导轨的两导轨面间有气腔、压力空气进入气腔后在两导轨面间形成一层很薄的空气膜，工作过程中相配的导轨面之间不接触，形成完全的空气摩擦。气浮导轨的优点是可实现大行程，振动小，运动精度高，分辨率可达到亚微米量级，使用寿命长，没有爬行的现象；缺点是刚度和承载能力低，对安装精度要求高，且体积一般比较庞大，使用费用较高。

滚珠丝杠是由螺杆、螺母和滚珠组成，作用是将旋转运动转化为直线运动，是精密机械上常用的执行元件。滚珠丝杠的优点是运动效率高，可实现微进给和逆运动，无侧隙，刚度高；缺点是制造较为复杂，且适当丝杠传动的间隙对定位精度有影响。

柔性铰链是在基体材料上加工处较薄弱的部分，利用该部分材料的弯曲变形的传递运动和力。柔性铰链的优点是结构紧凑、无摩擦，不发热、无间隙、不需润滑、位移分辨率高，可达纳米级别，被广泛用于微纳定位装置中；缺点是输出行程较小，且设计计算较为复杂。