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三英精控牵头承担的国家重点研发课题顺利通过中期检查
- 分类：公司新闻
- 作者：
- 来源：
- 发布时间：2023-02-16 13:20
- 访问量：
【概要描述】2023年2月13日，三英精控牵头承担的国家重点研发计划课题“大型显示面板前端制造工艺纳米尺度物性在线测量与质量监控系统”，在天津顺利通过科学技术部组织的中期检查。科技部高技术中心相关领导及验收专家组听取了项目组汇报并观看了设备现场演示。
三英精控牵头承担的国家重点研发课题顺利通过中期检查
【概要描述】2023年2月13日，三英精控牵头承担的国家重点研发计划课题“大型显示面板前端制造工艺纳米尺度物性在线测量与质量监控系统”，在天津顺利通过科学技术部组织的中期检查。科技部高技术中心相关领导及验收专家组听取了项目组汇报并观看了设备现场演示。
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2023年2月13日，三英精控牵头承担的国家重点研发计划课题“大型显示面板前端制造工艺纳米尺度物性在线测量与质量监控系统”，在天津顺利通过科学技术部组织的中期检查。科技部高技术中心相关领导及验收专家组听取了项目组汇报并观看了设备现场演示。
国家重点研发计划是由原来的国家重点基础研究发展计划（973计划）、国家高技术研究发展计划（863计划）、国家科技支撑计划、产业技术研究科研专项等整合而成，是对事关产业核心竞争力、整体自主创新能力和国家安全的战略性、基础性、前瞻性重大科学问题、以及重大共性的关键技术和产品，其主要支持填补产业空白，为国民经济和社会发展提供持续性支撑和引领的项目。
电子显示屏制造业是代表先进制造水平的典型高端产业。近年新型显示屏产业规模持续扩大，年增长率超过25%，仅OLED柔性屏的年产值就接近3000亿元。对标国际先进良率水平，如何提升测量技术来提高良率是目前显示制造行业的核心问题。并且当被测面板尺寸（＞1.5m）时，将远超现有纳米测量设备的承载范围，只能在裁剪试样后进行离线检测。
三英精控高度重视本次项目，联合了中国科学院沈阳自动化研究所、天津大学、广东工业大学等知名高校院所，与深圳明锐仪器有限公司、武汉华星光电半导体显示技术有限公司等行业标杆企业组成产学研于一体的项目团队，开展了项目协调、管理与实施工作。
项目研制了具有高端纳米测量指标的支持1.5米尺度试样的大型原子力显微镜，XY方向闭环分辨率达到0.2nm，Z方向空间分辨率小于0.1nm。项目针对超大尺寸薄试样的长机械回路，构建了跨尺度高速高精度运动平台，采用宏-微-纳三级7个自由度的联动协同精准控制，同时保证了大行程、高精度。
项目打破了技术壁垒，填补了多项国内技术空白。目前已经申请了十多项发明专利技术。项目获得的相关技术还可用于半导体行业（如点胶、晶圆键合）和激光加工等其他领域。
三英精控是一家专注于超精密运动控制技术和产品的开发，并致力于为科学研究仪器及高端装备制造提供精密运动控制技术的解决方案与系统集成，满足市场对超精密运动控制技术与产品需求的专业制造商。
更多行业资讯及产品信息，请持续关注三英精控或来电咨询。
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三英精控牵头承担的国家重点研发课题顺利通过中期检查
【概要描述】2023年2月13日，三英精控牵头承担的国家重点研发计划课题“大型显示面板前端制造工艺纳米尺度物性在线测量与质量监控系统”，在天津顺利通过科学技术部组织的中期检查。科技部高技术中心相关领导及验收专家组听取了项目组汇报并观看了设备现场演示。
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2023年2月13日，三英精控牵头承担的国家重点研发计划课题“大型显示面板前端制造工艺纳米尺度物性在线测量与质量监控系统”，在天津顺利通过科学技术部组织的中期检查。科技部高技术中心相关领导及验收专家组听取了项目组汇报并观看了设备现场演示。
国家重点研发计划是由原来的国家重点基础研究发展计划（973计划）、国家高技术研究发展计划（863计划）、国家科技支撑计划、产业技术研究科研专项等整合而成，是对事关产业核心竞争力、整体自主创新能力和国家安全的战略性、基础性、前瞻性重大科学问题、以及重大共性的关键技术和产品，其主要支持填补产业空白，为国民经济和社会发展提供持续性支撑和引领的项目。
电子显示屏制造业是代表先进制造水平的典型高端产业。近年新型显示屏产业规模持续扩大，年增长率超过25%，仅OLED柔性屏的年产值就接近3000亿元。对标国际先进良率水平，如何提升测量技术来提高良率是目前显示制造行业的核心问题。并且当被测面板尺寸（＞1.5m）时，将远超现有纳米测量设备的承载范围，只能在裁剪试样后进行离线检测。
三英精控高度重视本次项目，联合了中国科学院沈阳自动化研究所、天津大学、广东工业大学等知名高校院所，与深圳明锐仪器有限公司、武汉华星光电半导体显示技术有限公司等行业标杆企业组成产学研于一体的项目团队，开展了项目协调、管理与实施工作。
项目研制了具有高端纳米测量指标的支持1.5米尺度试样的大型原子力显微镜，XY方向闭环分辨率达到0.2nm，Z方向空间分辨率小于0.1nm。项目针对超大尺寸薄试样的长机械回路，构建了跨尺度高速高精度运动平台，采用宏-微-纳三级7个自由度的联动协同精准控制，同时保证了大行程、高精度。
项目打破了技术壁垒，填补了多项国内技术空白。目前已经申请了十多项发明专利技术。项目获得的相关技术还可用于半导体行业（如点胶、晶圆键合）和激光加工等其他领域。
三英精控是一家专注于超精密运动控制技术和产品的开发，并致力于为科学研究仪器及高端装备制造提供精密运动控制技术的解决方案与系统集成，满足市场对超精密运动控制技术与产品需求的专业制造商。
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