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• 发布时间：2023-02-03 10:01
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【概要描述】 纳米位移台的主要组成部分 纳米位移台作为微观领域内常用的机械机构，已经有了一套成熟系统。其中主要包括驱动控制机构、导向机构和检测装置。今天就带大家了解一下几类主流驱动控制机构。 微位移驱动器 微位移驱动器是微纳定位平台系统的关键部分。驱动器的特性和精度对定位平台系统的性能有着重要影响。目前主要有以下几种微位移驱动器： ①形状记忆合金驱动器 形状记忆合金驱动器（Shape Memory Alloy Actuator）的内在相变可引发形状改变，从而产生的位移或力来作为驱动源。根据相变诱发原因的不同，可分为应力诱发的伪弹性行为和温度诱发的形状记忆效应。形状基合金驱动器的优点是做功密度大，可恢复应变大。变形回复应力大，良好的生物相容性，无噪声，缺点是能耗高，不易控制，频响非常低，不宜用在需要快速定位的场合。 ②静电驱动器 静电驱动器（Electrostatic Actuator）有两个不同电荷的传导极板，将一定电压施加在两极板之间，可产生极板间的牵引力。从而使传导极板发生位移。经典执行器的优点在于形式相对简单、易与微电子工艺集成；缺点是若需要提供较大的牵引力则需要非常高的外部电压，对工作环境要求高，粉尘等对驱动器有较大影响。 ③电致伸缩驱动器 电致伸缩驱动器（Electrostritive Actuator）的微位移原理是电致伸缩效应，即在电场作用下产生的驱动器的应变与电场强度的平方成正比。电致伸缩驱动器的优点是体积小、结构紧凑、易于控制；缺点是温漂系数较大，低电压段和高电压点的位移分辨率不一致，存在迟滞、非线性和蠕变。 ④超磁致伸缩驱动器 超磁致伸缩驱动器（Giant Magnetostrictive Actuator）是利用磁致伸缩材料的纵向磁弹性变化来实现微驱动。超磁致伸缩驱动器的优点是输出位移大、响应速度快、频响宽、驱动电压低、驱动力强；缺点是定位精度受温度影响较大，并存在迟滞非线性。 ⑤压电陶瓷驱动器 压电陶瓷驱动器（Piezoelectric Ceramic Actuator）是利用利压电逆效应来实现为驱动的，即在压电陶瓷体上施加一个与极化方向相同的电场，陶瓷体将会伸长。压电陶瓷驱动器因具有位移分辨率高、结构简单、发热小、体积小、刚度高、响应速度快、不受磁场干扰、无摩擦、不需润滑等优点被广泛的应用于微纳定位系统中。但压电陶瓷驱动器也存在位移伸长量小，不能承受拉力和扭力，有迟滞非线性和蠕变等缺点。在实际应用中，需要设计放大机构，选择合适的压电陶瓷驱动器安装方式，以及采取一定驱动器建模和控制方法来减小上述缺点带来的不利影响，提高定位精度。 下期将继续为大家分享导向机构及其主要类别，敬请期待。更多行业资讯及产品信息，请持续关注三英精控或来电咨询。 咨询热线：18526695114