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• 发布时间：2022-09-29 09:25
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【概要描述】 气浮平台✦ 在科研和工业应用场景中，气浮平台已经被广泛使用。气浮平台的核心工作原理是基于气体动静压效应，利用气浮轴承和电控元件构成了精密的位移平台，让承载面浮在气浮导轨或轴承上，实现无摩擦，无抖动的平滑运动。 工作原理✦ 气浮平台的结构由气浮导轨（含承载面），直线电机和光栅尺等主要部件组成。通过气管将干净，无水无油的压缩空气输入到承载面与气浮导轨之间的气模间隙，气体在气模间隙内流动，让承载面在气浮导轨上浮起来。气体起到了润滑剂的作用，实现无摩擦运动。 常见的气浮直线导轨有如下形式： a) 重力平衡式气浮导轨 b) 闭式气浮导轨 c) 永磁预载式气浮导轨 d) 真空吸附式气浮导轨 常见的气浮孔结构为： a)小孔节流结构 b) 多孔质结构 应用领域✦ 传统的以旋转和滚珠丝杠驱动的定位精密平台存在着传动环节多、响应滞后大、存在摩擦、精度差等缺点，而气浮轴承与电磁直驱结合的气浮定位平台则克服了以上的缺点。气浮平台在半导体、光刻设备、航空航天、3D加工、精密车辆和生物医学等众多领域中具有十分广泛的被应用。 三英精控气浮平台✦ 三英精控在运动控制上有着丰富的制造经验，为客户提供了一款超大行程的高精度气浮运动台。 行程：6500mm；相对定位精度：±0.5μm；最大速度：100mm/s 直线度：±10μm；偏摆：±1.5arc sec；俯仰：±1.5arc sec ETSA-300气浮平台 特点：通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触，提高平台机构运动精度、表面平滑、微小偏差（俯仰，偏摆等）、性能稳定、没有机械损耗、“零”摩擦可使其进入纳米级应用。 使用场所：精密加工、精密测量、微电子制造业、光刻机平台、半导体加工业、扫描。 气浮旋转台系列 三英精控从用户的需求，综合考虑精度要求、负载大小、承载面尺寸、工作速度、加速度、动作路径及多轴整合等需求来设定方案，为客户提供高性价比的气浮平台。 更多产品信息及行业资讯，请持续关注三英精控或来电咨询。 咨询热线：18526695114