什么是纳米位移台

纳米位移台由压电陶瓷驱动器、柔性铰链机械系统、传感器、控制器、软件及标定系统组成，是精密仪器和设备领域的共性关键器件。广泛应用于半导体设备、显微成像、纳米技术、激光与光学、航天航空、生物医学、航天航空、国防军工等领域。

纳米位移台的工作原理

纳米位移台主要采用超精密运动控制技术超精密技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。

内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动；通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大；经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制；在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。

三英精控纳米位移台的特点

谐振频率是物体本身的固有属性，与物体的质量成反比，与物体的刚度成正比。

对于纳米位移台而言，刚度特性是整个位移台机械特性的重要特性之一。谐振频率越高引发共振的频率就越高，降低了用户在使用中对位移台破坏的几率，提高了位移台的使用稳定性。而影响位移台刚度特性的主要因素是柔性铰链的设计。通过不断修改柔性铰链的厚度、宽度及形状，并采用有限元分析软件对其进行模态分析，从而提高位移台的谐振频率。纳米位移台的谐振频率可高达7KHz。

纳米位移台应用于扫描探针显微镜（SPM），可提高SPM的扫描速度，实现了SPM快速扫描成像过程中的图形畸变最小化。

高的谐振频率一方面提高了白光干涉仪的定位稳定性，另一方面可实现复杂结构表面的快速测量。

纳米位移台选用低压叠层压电陶瓷块作为驱动器，压电陶瓷材料在电场的作用下膨胀产生驱动力或驱动位移。理论上讲，压电陶瓷驱动器的驱动输出的分辨率是无限的，只取决于驱动电压的噪声水平，因此三英精控经过不断优化设计出了输出电压噪声低并保证一定的输出功率的驱动系统。同时采用位移传感器作为反馈来进一步提升控制系统的分辨率和精度。本公司纳米位移台的分辨率可高达0.1nm。

三英精控的纳米台已完成了平均故障时间间隔大于5000小时的可靠性试验，并通过了专业机构的鉴定。

纳米位移台的典型应用

为了贴合不同领域的应用需求，三英精控还可以根据不同需求来进行定制，满足不同应用场合。更多产品信息及行业资讯，请持续关注三英精控或来电咨询。

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