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  • 产品名称: 精密定位工件台
  • 产品型号: PPS-110SM精密定位平台
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PPS-110SM是高精度,长行程直线平台。可用于压电电机、直线电机以及步进电机。滚珠轴承确保高刚度和精度,负载可达25kg。闭环条件下可使用高精度数字编码器达成2nm分辨率。

主要参数:

行程:100-1000mm

最大负载:25kg

最大速度:10mm/s

分辨率:50nm

双向可重复性:+/- 100nm

单向可重复性:100nm

编码器选择:数字信号

产品参数:

 

Travel Dependent Specifications

Travel range [mm]

100

200

300

500

1000

Straightness/Flatness [µm]

±3

±4

±5

±10

±15

Pitch [µrad]

±75

±100

±125

±200

±300

Yaw [µrad]

±75

±85

±100

±200

±300

 

Motor Compatibility

Motor option

2 Phase Stepper Motor

Speed, max [mm/s]

10 (Higher speed on request)

 

Motor/Feedback Dependent Specifcations

Encoder option

Open Loop

Digital (RS-422)

Resolution, typical [µm]

0.1

0.05

Repeatability, bi-directional [µm]

± 2

± 0.1

Repeatability, uni-directional [µm]

0.2

0.1

Accuracy [µm]

-

±1

 

Load Characteristics

Orientation

Fx

[N]

Fy

[N]

Fz

N]

Mx

N·m]

My

[N·m]

Mz

[N·m]

kax

[µrad/N·m]

kay

[µrad/N·m]

Load, max

30

150

250

60

30

35

50

50

 

产品名称

精密定位工件台

产品型号

PPS-110SM

交货期

 

 

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