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  • 产品名称: 转换台
  • 产品型号: VT-50L转换台
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产品描述:

 

VT-50L线性工件台因其紧凑的设计而结构小巧。利用二步进电机,配备了两个机械限位开关。预装滚珠轴承(可选十字形四轴承)创建高刚度和优越性能。VT-50L可用与一个直线编码器实现50nm的分辨率。工件台可以直接安装于XY或使用一个安装支架加至Z轴。行程10mm及以下VT-50可不通过适配器直接结合ES-50使用。适用于真空(10 - 6 mbar)环境。VT-50L兼容mmc - 200控制器。

 

 

主要参数:

 

行程:50-300mm(根据定制需求行程可达500mm)

闭环分辨率:50nm

负载:20kg

钢珠轴承

集成机械限位开关

适用真空环境

 

产品规格:

 

运动特性

行程[mm]

50

100

200

300

直线度/平面度[µm]

± 5

± 7

± 10

± 12

倾斜[µrad]

± 100

± 125

± 150

± 200

偏航[µrad]

± 100

± 125

± 150

± 200

 

电机特性

电机

2相位步进电机, SM-003

最大速度[mm/s]

10

 

反馈特性

   

编码器

无(开环)

模拟(1 Vpp)

数字(RS-422)

典型分辨率[µm]

0.1

0.05

0.05

双向重复性[µm]

± 10

± 0.2

± 0.2

单向重复性[µm]

10

0.2

0.2

精度[µm]

± 20

± 3

± 3

 

负载特性

方向

Fx [N]

Fy [N]

Fz [N]

Mx [N·m]

My [N·m]

Mz [N·m]

kαx [µrad/N·m]

kαy [µrad/N·m]

最大负载

50

200

200

10

10

10

100

100

产品名称

转换台

产品型号

VT-50L

交货期

 

 

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