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  • 产品名称: 转换台
  • 产品型号: VT-21L转换台
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产品描述:

 

VT-21L线性工件台因其紧凑的设计而结构小巧。利用二步进电机,配备了两个机械限位开关。预装滚珠创建高刚度和优越性能。VT-21L可用与一个直线编码器实现50nm的分辨率。工件台可以安装在XY或XYZ,实现空间的节省。适用于真空(10 - 6 mbar)环境。VT-21L兼容mmc - 200控制器。

 

 

主要参数:

 

行程:26mm

最大负载:1kg

最大速度:5mm/s

典型分辨率:0.05um

双向可重复性:+/- 0.2um

单向可重复性:0.2um

编码器选择:模拟信号,数字信号

 

产品规格:

 

运动特性

行程[mm]

26

直线度/平面度[µm]

± 3

倾斜[µrad]

± 180

偏航[µrad]

± 180

重量[g]

120

 

电机特性

电机

2相位步进电机, SM-001

最大速度[mm/s]

5

 

反馈特性

编码器

无(开环)

模拟(1 Vpp)

数字(RS-422)

典型分辨率[µm]

0.5

0.05

0.05

双向重复性[µm]

± 4

± 0.2

± 0.2

单向重复性[µm]

0.5

0.2

0.2

精度[µm]

± 10

± 1

± 1

 

负载特性

方向

Fx [N]

Fy [N]

Fz [N]

Mx [N·m]

My [N·m]

Mz [N·m]

最大负载

10

10

10

0.4

0.6

0.5

产品名称

 转换台

产品型号

VT-21L

交货期

 

 

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