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  • 产品名称: 纳米定位平台
  • 产品型号: NS-XY20Z5-01
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NS-X20Z5-01 

AFM专用纳米扫描台

分辨率:0.1nm
线性度:0.05 %
谐振频率:1500Hz
 
AFM专用纳米扫描台
紧凑设计的高频三维纳米扫描台
 
典型应用
AFM/SPM/SFM
光学探针
表面检测
半导体
高密度存储

 

型号 NS-XY20Z5-01
运动轴 X/Y/Z
传感器类型 电容式
闭环行程X/Y/Z 20/20/5μm
闭环分辨率X/Y/Z 0.5/0.5/0.1nm
线性度X/Y/Z 0.05/0.05/0.1%
无负载谐振频率X/Y/Z 800/800/1500Hz
端口 DB15
材料 Invar
最大负载 500g
尺寸 35×35×35mm

 

 

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