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  • 产品名称: 主动隔振平台
  • 产品型号: MAPS主动隔振平台
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●● 能除去被动隔振所无法除去的频带域上的振动
由Meiritsu制造的每一个MAPS系列的产品都有两个空气压缩振荡器;一个针对水平方向,一个针对垂直方向。如果您使用MAPS系列产品,可以体会到卓越的防震、主动抑制振动和保持精密位置的性能。MAPS使这一切成为可能。
●● MAPS 消除振动的频率范围是任何其他系统无法实现的
在被动防震系统中固有频率引起的共振会造成很大的麻烦,共振所产生的振动是原有振动的3 倍以上。如果使用MAPS,共振是能够避免的。因此,在同样的频率范围内能达到更好的除振效果。例如:2Hz 附近的共振能被减少到使用被动防震系统的
1/30—1/100。
●● 使用标准的MAPS 可以为一个10 吨以上的设备提供防震
由于功能的扩展,近期精密设备有着大型化的趋势发展,一些仪器的重量已经达到10 吨或者更重。因此大型设备很难保持结构的固有频率。这是一个原因为什么主动防震系统在低频范围优越性能是必要的。

●● 设备在一个运动的移动平台上时依然能保持稳定
如果一台设备随X、Y 移动平台运动,设备会大幅度的摇摆,如果放在被动防震系统上,振动会被放大。但是如果使
用主动防震系统,主动防震系统使用反馈控制来确保位置的稳定,振动会变得非常小。而且如果移动平台的运动能作为电信号输出,那么捕捉环境因素的影响就成为可能,因为MAPS系统能够接受输入控制,这样振动会变得最小。
●● MAPS 有着优越的精确位置精度和精密水平性能
当设备的尺寸变大,倾斜同样会引起麻烦。由于本身的重量设备很容易出现倾斜,精度会受到显著的影响。使用MAPS使倾斜变小,提供一个好的工作环境,保证精度。例如,MAPS使晶圆或者LCD面板平稳传送成为可能。
●● 所有的MAPS 型号都很容易安装
我们可以根据客户的需求将所有必要功能都集成到MAPS 系列。MAPS 的安装只需要很小的空间,您可以得到
不受振动影响的环境。因为MAPS系列的控制器非常稳定,MAPS 系列产品不单纯是你们工厂的设备,还能提供
你们产品销售的附加价值。
●● MAPS 是您精密仪器的关键的部分
看起来有很多的客户使用防震系统只是因为对振动的担心。当超高精密、多功能和大型化在现在的出现,一个没
有振动影响的环境是必须的,

MAPS系列功能全面,隔离振动、保持位置和保证水平。它不需要很大的空间安装。MAPS 能被装配进设备。但是,在这种情况下,会有一些限制。所以从隔振性能和价格因素来讲,这个并不是好的方案。当一个新设备开始研发时,我们很愿意听取你们对设备的设想,开始设计MAPS安装空间、振动隔离性能和位置精度,这些都很有必要。

基本组成部分

数量

MAPS振荡器

4个

控制器及放大器

1套

空气压力阀

1个

连接电线

1套

空气软管

1套

使用手册

1本

 

MAPS 系列规格表:

项目/型号

MAPS-008

MAPS-016

MAPS-033

MAPS-065

MAPS-130

MAPS-240

承重Kgf

400-800

800-1600

1600-3400

3400-6600

6600-13300

13300-24500

尺寸mm

235*235*130

296*296*140

350*350*150

450*450*190

600*480*190

700*600*267

装配孔

4-φ10

4-φ10

4-φ14

4-φ14

4-φ16

4-φ16

A*B

218*218

276*276

320*320

420*420

470*430

560*560

E*F

218*218

276*276

320*320

420*420

470*430

560*560

自重Kg

13

42

63

110

180

230

 

型号

MAPS-008

MAPS-016

MAPS-033

MAPS-065

MAPS-130

MAPS-240

气压

0.6-0.8Mpa

平均消耗

45-65(l/min)

120-170(l/min)

最大消耗

120 (l/min)

300(l/min)

电压

100-240V

功率

400W

450W

温度

0-40℃

湿度

35%-85%RH

固有频率

200Hz 以上

除振方式

空气压缩控制

保持水平方式

通过机械空气阀自动控制

防震性能

参照Transmissibility 曲线*

位置精度

±0.001-0.050

自由度

≤ 6

注:可根据客户需要提供定制产品。

 

产品名称

主动隔振平台

产品型号

MAPS

交货期

 

 

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