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ETSA高精度气浮平台系列

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ETSA高精度气浮平台系列

气浮平台克服了传统机械定位台行程短,响应滞后大,摩擦阻力等不足,实现了长行程高精度与高速定位功能,在半导体光刻设备,精密测量和生物医学等领域中具有不可替代的作用。重复定位精度高,俯仰偏摆角度小,运动台与导轨使用同种材料,在温度变化较大的工况下不会出现气浮台常见的“抱死”现象。通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触,提高平台机构运动精度、表面平滑、微小偏差(俯仰,偏摆等)、性能稳定、没有机械损耗、“零”摩擦可使其进入纳米级应用。

 

典型应用
• 精密加工                • 精密测量

• 微电子制造业         • 光刻机平台

• 半导体加工业         • 扫描

关键词:
气浮平台
高精度运动平台
长行程运动台
高精度位移平台
精密测量
精密加工
光刻机平台
高精度扫描
半导体加工
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