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真空环境压电陶瓷马达驱动平台

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真空环境压电陶瓷马达驱动平台
Z轴压电陶瓷模块
步进Z轴模块
定制控制箱 

 

产品应用:高真空、弱磁、无磁环境、电镜成像。

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产品名称

XY平台

行程mm

150×150

 

真空度

1×10-7Torr(工作真空)

材料

本体材料选用铝合金7075-T651,其他材料满足高真快放气率指标

平台负载

最大负载4kg/正常负载1kg

XY保持力

14N

最大单轴速度

30mm/s(空载)

最大单轴加速度

1mm/s2

重复定位精度

±150nm(常温常压)@0.1m/s2 加速度

绝对定位精度

±6μm(未补偿)

直线度

±6μm

平坦度

±5μm

正交性

15μm/100mm

最小增量运动

100nm

稳定时间

<300 ms @1kg 负载

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