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应用于白光干涉仪的检测设备
白光干涉仪的主要功能: 观察、分析、应用
特点:
1 、非接触式测量:避免物件受损。
2 、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
3 、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。
6 、扫描仪:闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8 、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
应用领域:
半导体晶片、液晶产品(CS,LGP,BIU)、微机电系统、光纤产品、数据存储盘(HDD,DVD,CD)、材料研究、精密加工表面、生物医学工程。
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宏观结合运动控制系统
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