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二维高速压电偏摆镜

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高速偏摆镜采用压电陶瓷驱动,内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,采用有限方针分析优化柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统,具有超高的导向精度,高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。高速偏摆镜内置精密位移电容传感器进行全闭环的位置反馈,确保运动控制的精度及定位精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,紧凑型设计,可以更好的集成于光学系统。

压电陶瓷控制器:采用多通道压电数字控制器及压电陶瓷驱动器,其特点具有精度高、响应速度快、支持开闭环切换,提供二次开发、噪音低。所有通道自带模拟输入输出接口,内置波形发生器,支持电容传感器及应变片传感器控制使用。

应用方向:在激光雷达测量、光学稳定成像、激光卫星通讯、光束跟踪、光束对准、激光驾束扫描及超高分辨光学成像方面具有超高的应用前景

产品特点:四根压电陶瓷作用于同一运动平台,XY轴具有相同的转动惯量,可实现快速、高动态和高精密运动控制,在较大的温差下可以实现很高的定位稳定性。       

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二维高速压电偏摆镜

产品名称

二维高速压电偏摆镜

行程(mrad

8

闭环分辨率 µrad

0.05

线性度% 

0.5

无负载下谐振频率(Hz

3500

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