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典型应用:光束稳定、光束跟踪、光束偏摆、自适应光学。
高速偏摆镜采用压电陶瓷驱动,内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,采用有限方针分析优化柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。高速偏摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了高速偏摆镜具有极佳的运动控制精度,定位精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,紧凑型设计,可以更好的集成于光学系统。
压电偏摆镜 快反镜 压电偏转镜 压电偏摆台 压电精瞄镜 压电倾斜镜 超高速偏摆台 大口径偏摆镜
关键词:
高速偏摆镜
快反镜
快速偏转镜
偏摆台
压电偏摆镜
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