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VT-21S线性工件台因其紧凑的设计而结构小巧。利用二步进电机,配备了两个机械限位开关。预装滚珠创建高刚度和优越性能。VT-21S可用与一个直线编码器实现50nm的分辨率。工件台可以安装在XY或XYZ,实现空间的节省。适用于真空(10 - 6 mbar)环境。VT-21S兼容mmc - 200控制器。
主要参数:
行程:10mm
最大负载:1kg
最大速度:5mm/s
典型分辨率:0.05um
双向可重复性:+/- 0.2um
单向可重复性:0.2um
编码器选择:模拟信号,数字信号
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