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PPS-20LM精密定位工件台

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电机
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PPS-20LM直线电机适用于要求高速的条件。迷你交叉滚珠轴承保证刚度和精度,高负载20N(水平方向)。PPS-20LM适用模拟以及数字编码器。闭环条件下可实现2nm分辨率。PPS-20LM兼容MMC-300控制器。

 

主要参数:

行程:11、18、25mm(其他行程可按需求定制)

最大负载:2kg

最大速度:100mm/s

分辨率:2nm

双向可重复性:+/- 20nm

单向可重复性:20nm

编码器选择:模拟信号,数字信号

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运动特性

行程[mm]

11

18

25

直线度/平面度[µm]

± 1

± 1.5

± 1.5

倾斜[µrad]

± 60

± 80

± 80

偏航[µrad]

± 70

± 90

± 90

 

电机特性

电机

音圈直线电机

最大速度[mm/s]

100

 

反馈特性

编码器

模拟(1vpp)

数字(RS-422)

典型分辨率[nm]

10

2

双向重复性[µm]

± 0.05

± 0.02

单向重复性[µm]

0.05

0.02

精度[µm]

± 1

± 1

 

负载特性

方向

Fx [N]

Fy [N]

Fz [N]

Mx [N·m]

My [N·m]

Mz [N·m]

最大负载

1

20

20

0.7

0.7

0.7

 

  • 三英精控精密定位平台PPS-20LM.pdf

    大小:
    2019-12-06 15:19:59
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