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PZS-90升降台

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电机
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PZS-90升降台专为有限空间条件设计。预装交叉滚珠轴承保证平滑运动和高刚度。当PZS-90与VT-50系列和PPS-60系列直线平台配套使用时无需适配器。PZS-90由一个二相位步进电机配备两个机械限位开关。可选用直线编码器提高精度。适用于真空(10 - 6 mbar)环境。PZS-90兼容mmc - 200控制器。

 

主要参数:

行程: 35mm

最大负载:15 kg

分辨率:100nm

钢滚珠轴承

集成机械限位开关

适用真空环境

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运动特性

行程[mm]

35

直线度/平面度[µm]

± 3

倾斜[µrad]

± 200

偏航[µrad]

± 200

重量[g]

1145

 

电机特性

电机

2相位步进电机, SM-003

最大速度[mm/s]

10

 

反馈特性

编码器

无(开环)

模拟(1 Vpp)

数字(RS-422)

低花费数字(RS-422)

典型分辨率[µm]

0.5

0.1

0.1

0.5

双向重复性[µm]

± 2

± 0.1

± 0.1

± 1

单向重复性[µm]

0.5

0.1

0.1

1

精度[µm]

± 15

± 1

± 1

± 3

 

Load Characteristics

方向

Fx [N]

Fy [N]

Fz [N]

Mx [N·m]

My [N·m]

Mz [N·m]

k?x [µrad/N·m]

k?y [µrad/N·m]

最大负载

75

75

150

50

50

100

50

50

 

  • 三英精控PZS-90手册.pdf

    大小:
    2019-12-06 15:18:02
  • 三英精控升降台PZS-90.pdf

    大小:
    2019-12-06 15:46:11
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