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ES-50升降台

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电机
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ES-50升降台专为有限空间条件设计。由一个二相位步进电机配备两个机械限位开关。两个预装滚珠保证平滑运动和高刚度。当与VT-50系列直线平台配套使用时无需适配器即可完成XYZ安装。适用于真空(10 - 6 mbar)条件。ES-50兼容mmc - 200控制器。

 

主要参数:

行程: 10mm

最大负载:2 kg

最大速度:5mm/s

分辨率:0.05um

双向可重复性:+/- 0.2um

单向可重复性:0.2um

编码器选择:模拟信号,数字信号

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运动特性

行程[mm]

10

直线度/平面度[µm]

± 4

倾斜[µrad]

± 300

偏航[µrad]

± 300

重量[g]

110

 

电机特性

电机

2相位步进电机, SM-001

最大速度[mm/s]

5

 

反馈特性

编码器

无(开环)

模拟(1 Vpp)

数字(RS-422)

典型分辨率[µm]

0.5

0.05

0.05

双向重复性[µm]

± 2

± 0.2

± 0.2

单向重复性[µm]

0.5

0.2

0.2

精度[µm]

-

± 1

± 1

 

Load Characteristics

方向

Fx [N]

Fy [N]

Fz [N]

Mx [N·m]

My [N·m]

Mz [N·m]

最大负载

5

5

20

1

1

1

 

  • 三英精控升降台ES-50.pdf

    大小:
    2019-12-06 15:45:37
  • 三英精控ES-50手册.pdf

    大小:
    2019-12-06 15:07:56
  • 三英精控ES-50-3D视图.pdf

    大小:
    2019-12-06 15:07:24
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