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PPX-50压电驱动平台

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压电平台
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PPX-50为大行程XY压电平台,高17.5mm。交叉滚珠轴承保证平稳和稳定运动,负载30 N。应用一个多相位压电电机确保高速(> 10毫米/秒)和高推力(> 2 N)。在开环与闭环条件可用,闭环直线编码器条件下分辨率可达1nm,适用真空(10-9 mbar)环境。PPX-50兼容mmc - 100和mmc - 110控制器。

 

行程:28x28mm

最大负载:3kg

最大速度:5 mm/s

分辨率:1nm

双向可重复性:+/- 20nm

单向可重复性:20nm

编码器选择:模拟信号,数字信号

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运动特性

行程[mm]

28x28

直线度/平面度[µm]

±3.5

倾斜[µrad]

±200

偏航[µrad]

±100

重量[g]

120

 

电机特性

电机

压电电机

最大速度[mm/s]

2 (MMC-100), 5 (MMC-110)

 

反馈特性

编码器

无(开环)

模拟(1 Vpp)

数字

典型分辨率[nm]

1

10

1

双向重复性[nm]

n/a

±50

±20

单向重复性[nm]

n/a

50

20

精度[µm]

-

±1

±1

 

负载特性

方向

Fx [N]

Fy [N]

Fz [N]

Mx [N]

My [N]

Mz [N]

最大负载

2

2

30

0.6

0.6

0.6

 

  • 三英精控PR-32 手册.pdf

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  • 三英精控PR-32-3D视图.pdf

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  • 三英精控压电旋转台PR-32.pdf

    大小:
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