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PPX-32压电驱动平台

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产品编号
PPX-32
所属分类
压电平台
数量
-
+
库存:
1
产品描述
产品规格
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PPX-32为长行程XY压电平台,高度14mm。四个预装滚珠保证平稳和稳定运动,负载10 N。利用一个多相位的压电马达实现高速(> 2 mm / s)和高推力(> 2 N)。PPX-32可用于线性开环或直线编码器。可实现闭环10纳米的分辨率。适用真空(10:9 mbar)环境。PPX-32兼容mmc - 100和mmc - 110控制器。

 

行程:18x18mm

最大负载:1kg

最大速度:2 mm/s

分辨率:1nm

双向可重复性:+/- 50nm

单向可重复性:50nm

编码器选择:模拟信号,数字信号

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运动特性

行程[mm]

18 x 18

直线度/平面度[µm]

± 2.5

倾斜[µrad]

± 200

偏航[µrad]

± 100

重量[g]

40

 

电机特性

电机

压电电机, PM-002

最大速度[mm/s]

2 (MMC-100), 5(MMC-110)

 

反馈特性

编码器

无(开环)

模拟(1 Vpp)

数字(RS-422)

典型分辨率[nm]

1

10

1

双向重复性[nm]

n/a

± 50

± 50

单向重复性[nm]

n/a

50

50

 

负载特性

方向

Fx [N]

Fy [N]

Fz [N]

Mx [N·m]

My [N·m]

Mz [N·m]

最大负载

1

1

10

0.6

0.6

0.6

 

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