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PPS-60PM压电驱动平台

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压电平台
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PPS-60PM是高精度,长行程直线位移台。适用于压电电机、直线电机以及步进电机。滚珠轴承保证高刚度以及高精度,负载高达150N。PPS-60可用直线编码器提高分辨率和重复性。PPS-60PM可不通过转换器直接安装于XY轴,也可通过使用安装支架安装于Z轴。

 

行程:25-300mm

最大负载:15kg

最大速度:5 mm/s

分辨率:0.002um

双向可重复性:± 0.20 μm

单向可重复性:0.20 μm

编码器选择:模拟信号、数字信号、低价数字信号

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运动特性

行程[mm]

25

50

100

200

300

直线度/平面度[µm]

± 2.5

± 4

± 6

± 8

± 10

倾斜[µrad]

± 50

± 75

± 100

± 125

± 150

偏航[µrad]

± 50

± 75

± 100

± 125

± 150

 

电机特性

电机

压电电机, PM-003

最大速度[mm/s]

5 (MMC-110)

 

反馈特性

编码器

开环

模拟

(1 Vpp)

数字

(RS-422)

数字

Low Cost

典型分辨率[µm]

0.001

0.01

0.002

0.5

双向重复性[µm]

-

± 0.05

± 0.02

±1

单向重复性[µm]

-

0.05

0.02

1

 

Load Characteristics

方向

Fx[N]

Fy[N]

Fz[N]

Mx[N·m]

My[N·m]

Mz[N·m]

kax[µrad/N·m]

kay[µrad/N·m]

最大负载

5

100

150

10

10

10

100

100

 

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