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NS-CDCS20L 纳米位移电容传感器(工业级)

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典型应用:精密制造/计量检测/变形监测/显微镜/材料测试/震动检测

被测物体与传感器各自作为一个平板电极。通过给传感器一个持续稳定的交流信号,其电压的振幅变化与传感器到被测物体之间的距离成正比。交流信号经过解调,可以测出位移量。电容式位移传感器具有信噪比大,灵敏度高,频响宽,非线性小,精度稳定性好,无损耗等特点。

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型号

NS-CDCS20L-20

NS-CDCS20L-100

NS-CDCS20L-200

NS-CDCS20L-400

量程范围 ( μm )

20

100

200

400

分辨率RMS ( nmHz -1/2 )

<0.07

<0.20

<0.40

<0.70

线性度 ( % )

0.06

0.08

0.10

0.20

传感器有效面积 ( mm2 )

51

51

51

51

带宽 ( kHz )

10

10

10

10

工作温度范围 ()

050

050

050

050

电压输出范围 ( V )

-1010/-55/010

-1010/-55/010

-1010/-55/010

-1010/-55/010

供电电压 ( V )

±15

±15

±15

±15

传感器线长 ( m )

2

2

2

2

传感器材料

AL/Invar

AL/Invar

AL/Invar

AL/Invar

注:被测物体表面必须导电,接地良好(可定制),出厂默认带宽1kHz。

 

NS-CDCS20L 尺寸图

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  • 三英精控NS-CDCS20L三维模型图.x_t

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