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PTS-50-25-2G/GL系列惯性电机平移台

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PTS-50-25-2G/GL系列平台采用惯性电机作为驱动,反馈系统可选配光栅反馈或微型反馈系统,均具有优良的定位及位置反馈性能,结构小巧,可实现两维运动。主体采用高硬度航空铝材质,驱动部件最小步进量可达纳米级,因此适用于小空间、小负载、微米及纳米级运动定位运用场景。

特点:超小体积、高重复定位精度。

使用场景:光学腔体、真空环境、小空间运用场景。

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型号

PTS-50-25-2G/GL

行程(mm)

25×25

直线度(μm)

±3.5

偏摆(arcsec)

±40

俯仰(arcsec)

±20

最大速度(mm/s)

2

最大负载(kg)

3

驱动方式

惯性电机

 

微型反馈系统(G)

光栅反馈系统(GL)

分辨率(nm)

18

100

闭环重复定位精度(nm)

±100

±250

开环最小步进量 (nm)

10

10

闭环最小步进量 (nm)

36

200

 

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