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PA-6G 六维惯性电机组台

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特点:小尺寸,高精度

使用场所:光纤对准,小空间多自由度调整,

光学腔室,真空环境。

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型号

X

Y

Z

θX

θY

θZ

行程

25mm

25mm

20mm

±5°

±2°

±5°

直线度

±3.5μm

±3.5μm

±3.5μm

/

/

/

偏摆

±40″

±40″

±40″

/

/

/

俯仰

±20″

±20″

±20″

/

/

/

摆动

/

/

/

±10″

±10″

±10″

偏心率

/

/

/

±5μm

±5μm

±5μm

分辨率

18nm

18nm

18nm

0.001°

0.001°

0.2″

闭环重复定位精度

±100nm

±100nm

±150nm

±0.005°

±0.005°

±1″

开环最小步进量

10nm

10nm

10nm

0.001°

0.001°

±0.1″

闭环最小步进量

36nm

36nm

36nm

0.005°

0.005°

±0.4″

端跳

/

/

/

±5μm

±5μm

±5μm

最大速度

2mm/s

2mm/s

2mm/s

15°/s

3°/s

3°/s

最大负载

3kg

3kg

2kg

2kg

1kg

0.5kg

驱动方式

惯性电机

惯性电机

惯性电机

惯性电机

惯性电机

惯性电机

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